拓荆科技股份有限公司梁彬彬获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利一种加热盘机构及其薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223219236U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422474937.4，技术领域涉及：H05B3/40；该实用新型一种加热盘机构及其薄膜沉积设备是由梁彬彬;吴凤丽;张闯闯;高鑫洲;董礼;张佳琦;王前程设计研发完成，并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热盘机构及其薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种加热盘机构及其薄膜沉积设备，加热盘机构包括：加热盘载体和埋设于所述加热盘载体内的发热丝组件，所述加热盘载体具有加热面，所述发热丝组件为若干由所述加热面的中心向所述加热面的边缘延伸，再由所述加热面的边缘向所述加热面的中心延伸的依次首尾连接的发热丝单元组成。本实用新型的加热盘机构，其将发热丝单元均匀埋设于加热盘载体内，从而提高加热盘表面温度的均匀性。发热丝单元采用至少两层层叠的结构设计，避免在电连接端存在断点导致冷点问题，并且设置至少两组发热丝组件从而避免单一发热丝因故障导致加热盘掉电宕机问题。
本实用新型一种加热盘机构及其薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种加热盘机构，其特征在于，包括：加热盘载体和埋设于所述加热盘载体内的发热丝组件，所述加热盘载体具有加热面，所述发热丝组件为若干由所述加热面的中心向所述加热面的边缘延伸，再由所述加热面的边缘向所述加热面的中心延伸的依次首尾连接的发热丝单元组成。
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