青岛阿森特科技发展有限公司范计伏获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛阿森特科技发展有限公司申请的专利芯片加工用可调式光学生产检测模组获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223217367U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422394368.2,技术领域涉及:G01N21/01;该实用新型芯片加工用可调式光学生产检测模组是由范计伏;张希旺;李楠;刘芡芡;程传森设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯片加工用可调式光学生产检测模组在说明书摘要公布了:本实用新型涉及芯片生产设备技术领域,尤其是芯片加工用可调式光学生产检测模组,包括光学生产平台,以及用于产生满足表面等离子共振要求的入射光的光学系统,还包括一输送板,在输送板上设有多个用于固定芯片基材的料夹,在光学生产平台上设有一由上板体、下板体以及固定板组成的生产定位机构,所述上板体、下板体相对面上均开设有直线槽,两直线槽之间形成用于容纳输送板的容纳槽,还包括位于反射光路上的检测器,用于不断调整光学系统及检测器与芯片基材的相对位置,让光束入射到芯片基材基底中央的控制机构,以及控制器。可以让光束入射到芯片基材的基底中央,从而达到准确定位以确保生产质量的目的。
本实用新型芯片加工用可调式光学生产检测模组在权利要求书中公布了:1.芯片加工用可调式光学生产检测模组,其特征在于:包括光学生产平台,以及用于产生满足表面等离子共振要求的入射光的光学系统,还包括一输送板,在输送板上设有多个用于固定芯片基材的料夹,在光学生产平台上设有一由对应设置的上板体、下板体以及用于将二者连接的固定板组成的生产定位机构,所述上板体、下板体相对面上均开设有直线槽,两直线槽之间形成用于容纳输送板的容纳槽,还包括位于反射光路上的检测器,用于不断调整光学系统及检测器与芯片基材的相对位置、使光束入射到芯片基材基底中央的控制机构,以及控制器。
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