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龙图腾网获悉鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司申请的专利一种用于半导体设备装配的校准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223218268U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422389654.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种用于半导体设备装配的校准装置是由顾少俊;张敬展;周航;黄柱龙设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体设备装配的校准装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于半导体设备装配的校准装置，涉及半导体设备技术领域，一种用于半导体设备装配的校准装置包括工作台，所述工作台顶部的两端安装有电动导轨，所述电动导轨的一侧安装有驱动电机，所述电动导轨的内部滑动连接有第一滑块，所述第一滑块的顶部安装有固定块，两个所述固定块相对面的一端安装有第一电动推杆，所述工作台顶部两侧的中间位置安装有位置传感器，所述工作台的顶部安装有滑轨，本方案解决了现有的半导体晶圆位置检测校准装置在使用的过程中没有对晶圆的位置进行固定，容易导致晶圆在位置调整后又出现偏移，晶圆的中心与晶圆的平台中心不重合，会导致晶圆的良率下降，甚至导致晶圆破裂报废的问题。

本实用新型一种用于半导体设备装配的校准装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体设备装配的校准装置，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）顶部的两端安装有电动导轨（3），所述电动导轨（3）的一侧安装有驱动电机（4），所述电动导轨（3）的内部滑动连接有第一滑块（5），所述第一滑块（5）的顶部安装有固定块（6），两个所述固定块（6）相对面的一端安装有第一电动推杆（7），所述工作台（1）顶部两侧的中间位置安装有位置传感器（9），所述工作台（1）的顶部安装有滑轨（10），所述滑轨（10）位于两个所述位置传感器（9）之间，且与所述电动导轨（3）平行，所述滑轨（10）的内部滑动连接有第二滑块（11），所述第二滑块（11）的顶部安装有托盘（12），所述托盘（12）顶部的中间位置设置有圆形凹槽（13），所述第二滑块（11）的两侧安装有第二电动推杆（16），所述第二电动推杆（16）位于所述滑轨（10）的内部，两个所述第二电动推杆（16）相背面的一侧安装有抵接板（17），所述工作台（1）中部的前端安装有控制器（19）。

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