苏州高芯众科半导体有限公司金巨万获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州高芯众科半导体有限公司申请的专利一种浸泡槽获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223218269U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422391119.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种浸泡槽是由金巨万;辛长林;阚云峰设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种浸泡槽在说明书摘要公布了：本申请涉及一种浸泡槽，其包括浸泡箱，浸泡箱内设置有挂篮，挂篮底部开设有多个滤水通槽，浸泡箱底部设置有与多个滤水通槽一一对应的支撑板，浸泡箱内设置有驱动组件，驱动组件驱使挂篮沿着浸泡箱深度方向往复运动，当挂篮移动至远离浸泡箱底部的最大距离时，挂篮的底部与支撑板的顶端留有间隙，当挂篮移动至靠近浸泡箱底面的最大距离时，多个支撑板贯穿滤水通槽并将晶圆支撑顶起，驱动组件和支撑板的设置使晶圆与挂篮和支撑板的贴合面可以间歇的暴露在处理溶液，扩大了晶圆与处理溶液的接触面积。中本申请具有提高浸泡槽对晶圆浸泡清洗效果的效果。
本实用新型一种浸泡槽在权利要求书中公布了：1.一种浸泡槽，包括浸泡箱1，所述浸泡箱1内承载有处理溶液，所述浸泡箱1内设置有用于承载晶圆的挂篮2，其特征在于，所述挂篮2呈镂空状，所述挂篮2底部开设有多个滤水通槽21，所述浸泡箱1底部设置有与多个所述滤水通槽21一一对应的支撑板3，所述支撑板3竖直设置且位于所述滤水通槽21的正下方，所述支撑板3的宽度小于所述滤水通槽21的开口大小，所述浸泡箱1内设置有驱动组件4，所述驱动组件4驱使所述挂篮2沿着所述浸泡箱1深度方向往复运动，当所述挂篮2移动至远离所述浸泡箱1底部的最大距离时，所述挂篮2的底部与所述支撑板3的顶端留有间隙，当所述挂篮2移动至靠近所述浸泡箱1底面的最大距离时，多个所述支撑板3贯穿所述滤水通槽21并将晶圆支撑顶起。
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