苏州普伊特自动化系统有限公司张淋获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州普伊特自动化系统有限公司申请的专利一种硅片槽式机抽风结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223219417U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422381917.2，技术领域涉及：H10F71/00；该实用新型一种硅片槽式机抽风结构是由张淋;耿富民设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片槽式机抽风结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅片槽式机抽风结构，包括罩在并列设置的多个槽体外侧的抽风框体；槽体为双层结构，其包括位于内层的内壁及位于外层的外壁，且内壁上方设置有上盖；沿槽体并列方向设置有抽风腔一；抽风框体的侧壁设置有对应槽体的上方空间的抽风腔二，且抽风腔二的下端连通至抽风腔一，抽风腔二的侧壁设置有对应槽体的上方空间的抽风孔；抽风框体的上端设置有连通至抽风腔二的抽风管，且抽风管连通至外部抽风机。本实用新型可以在保证总抽风面积不变的情况下，通过合理分配抽风资源，可以减少抽风量，降低抽风能耗，并在减少抽风量的前提下有效降低槽内和槽外的有害气体浓度。
本实用新型一种硅片槽式机抽风结构在权利要求书中公布了：1.一种硅片槽式机抽风结构，其特征在于：包括罩在并列设置的多个槽体10外侧的抽风框体20； 所述槽体10为双层结构，其包括位于内层的内壁12及位于外层的外壁13，且所述内壁12上方设置有上盖11； 沿所述槽体10并列方向设置有抽风腔一21； 所述抽风框体20的侧壁设置有对应所述槽体10的上方空间的抽风腔二22，且所述抽风腔二22的下端连通至所述抽风腔一21，所述抽风腔二22的侧壁设置有对应所述槽体10的上方空间的抽风孔221； 所述抽风框体20的上端设置有连通至所述抽风腔二22的抽风管23，且所述抽风管23连通至外部抽风机。
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