天津环博科技有限责任公司靳立辉获国家专利权
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龙图腾网获悉天津环博科技有限责任公司申请的专利一种硅片清洗用甩干机构、加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223210058U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422333252.8，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种硅片清洗用甩干机构、加工设备是由靳立辉;张淳;高翔;杜晨朋;王毅;丁天时设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片清洗用甩干机构、加工设备在说明书摘要公布了：一种硅片清洗用甩干机构，包括：夹持组件：可用于夹持单个不同尺寸硅片，其设有安装板和置于安装板上的多级架和定位柱，在所述多级架上配设有若干用于夹持不同尺寸硅片外边缘的夹持块；气液组件：用于对硅片双面进行喷水和吹气，其设有下喷头和上喷头，所述下喷头穿过所述安装板中心朝上设置，所述上喷头通过上管道架被悬置于硅片上方；控制所述管道架摆动以带动所述上喷头，在所述夹持夹持块夹持硅片边缘时，边摆动边冲水或吹气；所述下喷头始终固定位置不动。本申请结构简单且控制精准，同一夹持组件可对多种不同规格的硅片进行夹持，异种尺寸清洗时，无需更换夹持组件，即可继续对硅片进行精准夹持，兼容性好。
本实用新型一种硅片清洗用甩干机构、加工设备在权利要求书中公布了：1.一种硅片清洗用甩干机构，其特征在于，包括： 夹持组件：可用于夹持单个不同尺寸硅片，其设有安装板和置于安装板上的多级架和定位柱，在所述多级架上配设有若干用于夹持不同尺寸硅片外边缘的夹持块； 气液组件：用于对硅片双面进行喷水和吹气，其设有下喷头和上喷头，所述下喷头穿过所述安装板中心朝上设置，所述上喷头通过上管道架被悬置于硅片上方； 控制所述管道架摆动以带动所述上喷头，在所述夹持夹持块夹持硅片边缘时，边摆动边冲水或吹气；所述下喷头始终固定位置不动。
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