天津环博科技有限责任公司靳立辉获国家专利权
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龙图腾网获悉天津环博科技有限责任公司申请的专利一种硅片预洗喷淋装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223210059U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422337035.6，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种硅片预洗喷淋装置是由靳立辉;张淳;杜晨朋;王毅;王德智设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片预洗喷淋装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种硅片预洗喷淋装置，包括喷淋槽体、喷淋模块、抛动支架和盖体，所述喷淋模块相对设置在所述喷淋槽体的侧壁内部，所述抛动支架设置在所述喷淋槽体的底部，与所述喷淋槽体未设有所述喷淋模块的侧壁活动连接，用于放置装载硅片的料框，可带动所述料框上下移动，所述盖体设置在所述喷淋槽体的顶部，与所述喷淋槽体活动连接。本实用新型的有益效果是减少了喷淋清洗死角，保证了硅片的预洗效果，避免了喷淋过程中喷淋液的飞溅，减少了排液口的堵塞，保证了硅片的正常预洗。
本实用新型一种硅片预洗喷淋装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片预洗喷淋装置，包括喷淋槽体，其特征在于，包括： 喷淋模块，相对设置在所述喷淋槽体的侧壁内部，可沿所述喷淋槽体的侧壁移动； 抛动支架，设置在所述喷淋槽体内部，与所述喷淋槽体未设有所述喷淋模块的侧壁活动连接，用于放置装载硅片的料框，可带动所述料框上下移动； 盖体，设置在所述喷淋槽体的顶部，与所述喷淋槽体活动连接。
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