武汉芯丰精密科技有限公司万先进获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉芯丰精密科技有限公司申请的专利研磨垫快拆结构及晶圆减薄机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223211157U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422340540.6，技术领域涉及：B24B41/047；该实用新型研磨垫快拆结构及晶圆减薄机是由万先进;尤国振;胡孟杰;何力;何红秀;韦俊丞;锁志勇;边逸军设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨垫快拆结构及晶圆减薄机在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆加工设备技术领域，公开了一种研磨垫快拆结构及晶圆减薄机。该研磨垫快拆结构包括固定座、快拆座和研磨垫。快拆座设置于固定座远离驱动机构的一侧，快拆座上开设有快拆槽，固定座上设置有挂销，快拆槽设置有相互连通的解锁段和锁定段，挂销能够伸入解锁段并且滑动至锁定段。固定座和快拆座相配合，带动研磨垫相对晶圆转动，锁定研磨垫时，可将挂销插入快拆槽的解锁段，再转动快拆座，使得挂销滑动至锁定段；更换研磨垫时，可反向转动快拆座，使得挂销由锁定段滑动至解锁段，再将快拆座分离于固定座，即可直接在快拆座上拆卸、更换研磨垫，一个工人可徒手完成作业，无需多人配合，操作简单便捷，结构结实耐用，生产成本低。
本实用新型研磨垫快拆结构及晶圆减薄机在权利要求书中公布了：1.研磨垫快拆结构，其特征在于，包括： 固定座1，晶圆减薄机的驱动机构100能够驱动所述固定座1转动； 快拆座2，设置于所述固定座1远离所述驱动机构的一侧100，所述快拆座2上开设有快拆槽21，所述固定座1上设置有挂销11，所述快拆槽21设置有相互连通的解锁段和锁定段，所述挂销11能够伸入所述解锁段并且滑动至所述锁定段，所述挂销11位于所述解锁段时所述快拆座2能够分离于所述固定座1，所述挂销11位于所述锁定段时，所述快拆座2锁定于所述固定座1； 研磨垫3，可拆卸地连接于所述快拆座2远离所述固定座1的一侧。
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