芯联集成电路制造股份有限公司魏健获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联集成电路制造股份有限公司申请的专利保护罩、炉管底座及炉管设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223216677U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422326712.4，技术领域涉及：F27B17/00；该实用新型保护罩、炉管底座及炉管设备是由魏健;金嵩浩;戚振海设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本保护罩、炉管底座及炉管设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种保护罩、炉管底座及炉管设备，保护罩包括：防护本体；所述防护本体由非金属材料制成；所述防护本体上具有一防护面，所述防护面用于贴合于底座本体位于工艺腔内的一侧面。可选地，所述防护本体上设置有通孔，所述通孔沿垂直于所述防护面的方向贯通设置。该保护罩用于罩在底座本体，用于隔离底座本体与清洗时的清洗气体，改善炉管底座本体被腐蚀的现象，进而防止金属离子污染工艺腔所导致产品的电性异常出现报废，避免产生较大经济损失。
本实用新型保护罩、炉管底座及炉管设备在权利要求书中公布了：1.一种保护罩，其特征在于，包括：防护本体； 所述防护本体由非金属材料制成； 所述防护本体上具有一防护面，所述防护面用于贴合于底座本体位于工艺腔内的一侧面； 所述防护本体上设置有通孔，所述通孔沿垂直于所述防护面的方向贯通设置。
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