苏州光越微纳科技有限公司刘磊获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州光越微纳科技有限公司申请的专利一种晶圆对位总装台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223218282U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422326956.2，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆对位总装台是由刘磊;史晓华设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆对位总装台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆对位总装台，包括平台治具盘；定位平台，定位平台的下方连接有用于调节定位平台高度的高度调节组件及用于检测平台治具盘的水平高度的水平检测装置；所述平台治具盘通过横向位移组件、纵向位移组件设在所述定位平台的上方，所述横向位移组件与所述纵向位移组件滑动连接，且所述平台治具盘的下方还连接有用于控制所述平台治具盘转动的转角组件。本实用新型在压印前对平台治具盘的水平高度及水平度进行检测，使平台治具盘在压印时保持水平状态，提高了晶圆的压印精度。
本实用新型一种晶圆对位总装台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对位总装台，其特征在于，包括： 平台治具盘11； 定位平台1，所述定位平台1的下方连接有用于调节所述定位平台1高度的高度调节组件2，及，用于检测所述平台治具盘11的水平高度的水平检测装置3； 所述平台治具盘11通过横向位移组件4、纵向位移组件5设在所述定位平台1的上方，所述横向位移组件4与所述纵向位移组件5滑动连接，且所述平台治具盘11的下方还连接有用于控制所述平台治具盘11转动的转角组件6。
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