致真精仪(北京)科技有限公司张金娥获国家专利权
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龙图腾网获悉致真精仪(北京)科技有限公司申请的专利探针跟踪装置及原子力显微镜获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223217515U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422308504.1，技术领域涉及：G01Q60/38；该实用新型探针跟踪装置及原子力显微镜是由张金娥;魏家琦;张学莹;王麟设计研发完成，并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针跟踪装置及原子力显微镜在说明书摘要公布了：本申请涉及原子力显微镜技术领域，公开一种探针跟踪装置，包括：探针和光路组件。光路组件包括光源、可转动反射镜、第一凸透镜和第一会聚镜；其中，光源用于产生检测光，可转动反射镜用于反射检测光，第一凸透镜的焦点位于可转动反射镜反射检测光的位置处，第一会聚镜用于使探针反射的检测光照射至位置探测器上。通过设置第一会聚镜，能够使反射的检测光沿与入射光路不同的光路照射至位置探测器上。在测量过程中，通过与入射光路不同的光路采集反射的检测光，采集精度不受可转动反射镜运动的影响，减少了反射光束因为探针跟踪运动所产生的误差，提高了原子力显微镜的测量的精确度。本申请还公开一种原子力显微镜。
本实用新型探针跟踪装置及原子力显微镜在权利要求书中公布了：1.一种探针跟踪装置，其特征在于，包括： 探针； 光路组件，包括光源、可转动反射镜、第一凸透镜和第一会聚镜；其中，光源用于产生检测光，可转动反射镜用于反射检测光，第一凸透镜的焦点位于可转动反射镜反射检测光的位置处，使可转动反射镜每次转动后照射向探针的目标位置的检测光之间相互平行，第一会聚镜用于使探针反射的检测光照射至位置探测器上； 位移组件，用于驱动探针位移。
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