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龙图腾网获悉烟台万华电子材料有限公司申请的专利用于液氨体系中制备锗烷/硅烷时所产尾气的处理系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223209251U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422283720.5，技术领域涉及：B01D53/18；该实用新型用于液氨体系中制备锗烷/硅烷时所产尾气的处理系统是由陈刚军;贾辉;闫晓军;姜伟;白宇慧设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于液氨体系中制备锗烷/硅烷时所产尾气的处理系统在说明书摘要公布了：用于液氨体系中制备锗烷硅烷时所产尾气的处理系统，包括经管道相连通的惰性气瓶、防倒吸罐和尾气吸收罐；尾气吸收罐的进气口通过防倒吸罐连通至液氨体系中锗烷硅烷合成装置的锗烷硅烷尾气出口；防倒吸罐的顶部进气口连接至液氨体系中锗烷硅烷合成装置的锗烷硅烷尾气出口、底部出气口经第一管道自所述尾气吸收罐的顶部进气口插入至所述尾气吸收罐内的底部；惰性气瓶连接至所述防倒吸罐的顶部进气管道上。该系统结构简单、操作方便，处理锗烷硅烷尾气效率高，并能有效防止吸收液倒吸，确保锗烷硅烷尾气经处理后达标排放。

本实用新型用于液氨体系中制备锗烷/硅烷时所产尾气的处理系统在权利要求书中公布了：1.一种用于液氨体系中制备锗烷硅烷时所产尾气的处理系统，其特征在于，所述系统包括经管道相连通的惰性气瓶1、防倒吸罐2和尾气吸收罐3；其中， 所述尾气吸收罐3的顶部设置有进气口、加液口303和出气口，底部设置有排液口308，且其进气口通过所述防倒吸罐2连通至液氨体系中锗烷硅烷合成装置的锗烷硅烷尾气出口，用于自其加液口303加入吸收液，以对自其进气口通入的锗烷硅烷尾气中的锗烷硅烷和氨气进行吸收，并自其出气口排出氢气，自其排液口308排出废液； 所述防倒吸罐2的顶部进气口连接至液氨体系中锗烷硅烷合成装置的锗烷硅烷尾气出口、底部出气口经第一管道301自所述尾气吸收罐3的顶部进气口插入至所述尾气吸收罐3内的底部，用于将来自液氨体系中锗烷硅烷合成装置的锗烷硅烷尾气送至所述尾气吸收罐3内进行吸收，并缓冲来自所述尾气吸收罐3的吸收液，防止所述尾气吸收罐3的吸收液倒吸至液氨体系中锗烷硅烷合成装置； 所述惰性气瓶1连接至所述防倒吸罐2的顶部进气管道201上，用于对系统进行吹扫和气体置换。

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