英乐威环保科技(常州)有限公司苏振定获国家专利权
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龙图腾网获悉英乐威环保科技(常州)有限公司申请的专利一种硅片加热器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223216576U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422253523.9，技术领域涉及：F26B9/06；该实用新型一种硅片加热器是由苏振定;高军利;李军设计研发完成，并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片加热器在说明书摘要公布了：本实用新型是一种硅片加热器，包括：槽体，其具有放置有硅片的内腔；侧腔，其设置在所述槽体的两侧，其与所述内腔连通；底腔，其设置在所述槽体底部，并与所述内腔、侧腔连通；加热组件，其设置在所述底腔内；循环介质组件，其设置在所述槽体底部，其适于将所述底腔中的所述加热组件产生热量依次经过所述侧腔、内腔、底腔，与所述加热组件进行换热；所述循环介质组件与所述槽体底部之间设置有缓冲组件；通过循环介质组件实现空气的循环流动，依次将将空气经过底腔、侧腔、内腔，在内腔中空气实现对硅片的加热烘干，完成烘干后的空气重新通入至底腔中与加热组件进行换热，重新参与循环，实现对硅片的加热烘干。
本实用新型一种硅片加热器在权利要求书中公布了：1.一种硅片加热器，其特征在于，包括： 槽体，其具有放置有硅片的内腔； 侧腔，其设置在所述槽体的两侧，其与所述内腔连通； 底腔，其设置在所述槽体底部，并与所述内腔、侧腔连通； 加热组件，其设置在所述底腔内； 循环介质组件，其设置在所述槽体底部，其适于将所述底腔中的所述加热组件产生热量依次经过所述侧腔、内腔、底腔，与所述加热组件进行换热； 所述循环介质组件与所述槽体底部之间设置有缓冲组件。
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