江苏汇成光电有限公司邹林获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏汇成光电有限公司申请的专利一种具有警报提示的等离子刻蚀机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223218258U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422235598.4，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种具有警报提示的等离子刻蚀机台是由邹林;张帅;王徐;朱志峰设计研发完成，并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有警报提示的等离子刻蚀机台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了半导体等离子刻蚀领域内的一种具有警报提示的等离子刻蚀机台，包括机台，机台的前侧设置有可打开的门体，机台内部设置有中空的工作腔室，工作腔室内分别设置有水平的上限位板和下支撑板，下支撑板上设置有两条相互平行的纵向导轨，两导轨上放置有上料工具，上料工具底部对应两导轨开设有两条滑槽，下支撑板上位于上料工具的左右两侧分别对应设置有左限位座和右限位座，左限位座和右限位座均纵向设置，所述机台的底部设置有若干支撑座；所述门体的边缘设置有感应支架，机台侧面对应感应支架设置有接近开关，接近开关与PLC控制器相连。本实用新型提高上料效率，避免部分晶圆产品未经该工序作业成为不良品报废。
本实用新型一种具有警报提示的等离子刻蚀机台在权利要求书中公布了：1.一种具有警报提示的等离子刻蚀机台，包括机台，其特征在于，所述机台的前侧设置有可打开的门体，机台内部设置有中空的工作腔室，工作腔室内分别设置有水平的上限位板和下支撑板，下支撑板上设置有两条相互平行的纵向导轨，两导轨上放置有上料工具，上料工具底部对应两导轨开设有两条滑槽，下支撑板上位于上料工具的左右两侧分别对应设置有左限位座和右限位座，左限位座和右限位座均纵向设置，所述机台的底部设置有若干支撑座；所述门体的边缘设置有感应支架，机台侧面对应感应支架设置有接近开关，接近开关与PLC控制器相连。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏汇成光电有限公司，其通讯地址为：225128 江苏省扬州市邗江区扬州高新技术产业开发区金荣路19号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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