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龙图腾网获悉浙江长兴合利光电科技有限公司申请的专利基板刻蚀装置、基于该基板的无背光液晶屏及刻蚀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119133028B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411269086.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板刻蚀装置、基于该基板的无背光液晶屏及刻蚀方法是由肖斌;吕志勇;汪鹏;叶常春设计研发完成，并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板刻蚀装置、基于该基板的无背光液晶屏及刻蚀方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体器件制造技术领域，公开了基板刻蚀装置、基于该基板的无背光液晶屏及刻蚀方法，包括蚀刻机、设于蚀刻机内的多个晶圆硅片以及用于多个晶圆硅片盛放的承载装置，所述蚀刻机内设置有反应槽和清洗槽，所述蚀刻机内设置有驱动装置、抓取装置和清理装置；所述驱动装置与清理装置之间设置有传动组件。本发明通过传动组件的设置，使得承载装置向清洗槽方向移动过程中，清理装置向承载装置方向移动，使得晶圆硅片与承载件位于两个清理件之间，从而达到对晶圆硅片以及承载件上的残余液体清理的效果，解决了晶圆硅片以及其承载器皿从反应槽向清洗槽移动过程中，其表面残余的化学腐蚀液滴落在蚀刻机内，对蚀刻机造成污染的问题。

本发明授权基板刻蚀装置、基于该基板的无背光液晶屏及刻蚀方法在权利要求书中公布了：1.基板刻蚀装置，包括蚀刻机、设于蚀刻机内的多个晶圆硅片以及用于多个晶圆硅片盛放的承载装置，其特征在于：所述蚀刻机内设置有反应槽和清洗槽，所述蚀刻机内设置有驱动装置、抓取装置和清理装置； 所述驱动装置与清理装置之间设置有传动组件，以使所述抓取装置与清理装置之间做反向运动； 所述承载装置包括多个承载件和收纳件，多个所述承载件设于收纳件内，所述晶圆硅片设于承载件内； 所述抓取装置包括移动板、套设于移动板外的驱动件以及设于移动板底部的多个连接件，所述连接件与承载件匹配，所述驱动件在移动板上向下移动过程中，带动多个所述连接件做相向运动； 所述清理装置包括多个清理件、用于装载清理件的装载件，所述装载件与清理件之间设置有活动件，以使所述装载件移动时带动清理件转动，多个所述清理件与多个承载件相互错位； 所述移动板顶部固定连接有导轨块； 所述装载件包括装载盘，所述装载盘一侧固定连接有横板； 所述传动组件包括第二齿轮，所述蚀刻机侧壁内开设有内槽，所述导轨块一侧固定连接有直角板，所述直角板延伸至内槽内且与侧壁滑动连接，所述直角板底部固定连接有上齿板，所述横板一侧延伸至内槽内且与侧壁滑动连接，所述横板顶部固定连接有下齿板，所述第二齿轮设于内槽内且通过轴承与侧壁转动连接，所述上齿板和下齿板分别设于第二齿轮外顶部和底部且与第二齿轮啮合连接。

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