厦门思坦半导体有限公司李响获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门思坦半导体有限公司申请的专利一种密封存储装置及清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223218263U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422144541.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种密封存储装置及清洗设备是由李响;蔡政银设计研发完成，并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种密封存储装置及清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种密封存储装置及清洗设备，涉及芯片制造技术领域。密封存储装置包括密封槽、制程槽、移液组件以及冷却件；密封槽用于存储挥发性药液；制程槽用于进行清洗作业；移液组件连接密封槽和制程槽；冷却件设置于密封槽内部。当清洗设备闲置时，移液组件将制程槽内的挥发性药液移送至密封槽，避免挥发性药液挥发至周围环境中，从而减少非必要的药液损耗，降低生产成本，并且降低对生产人员和环境安全的危害。设置在密封槽内的冷却件能够对进入密封槽的挥发性药液进行冷却降温，防止挥发性药液在密封槽内的挥发量过大将密封槽胀裂。当需要生产时，移液组件将密封槽内的挥发性药液移送至制程槽，以便清洗设备对产品或物料进行清洗作业。
本实用新型一种密封存储装置及清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种密封存储装置，其特征在于，包括： 密封槽，用于存储挥发性药液； 制程槽，用于进行清洗作业； 移液组件，连接所述密封槽和所述制程槽，所述移液组件用于将所述制程槽内的挥发性药液移送至所述密封槽，以及将所述密封槽内的挥发性药液移送至所述制程槽；以及 冷却件，设置于所述密封槽内部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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