新硅能微电子(苏州)有限公司陆佳顺获国家专利权
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龙图腾网获悉新硅能微电子(苏州)有限公司申请的专利沟槽栅IGBT器件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223219397U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422130438.3,技术领域涉及:H10D12/00;该实用新型沟槽栅IGBT器件是由陆佳顺;孙磊;陈译;杨洁雯设计研发完成,并于2024-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本沟槽栅IGBT器件在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种沟槽栅IGBT器件,包括至少2个位于硅片上的器件单胞,位于第一沟槽、第二沟槽周边分别具有一第一N型重掺杂发射极区、第二N型重掺杂发射极区,相邻所述MOS器件单胞之间的N型轻掺杂漂移层内具有一深沟槽,此深沟槽内填充有一绝缘介质柱,此绝缘介质柱的上端延伸至硅片上表面,绝缘介质柱的下端延伸至N型轻掺杂漂移层的下部;器件单胞中的第一导电多晶硅、第二导电多晶硅各自上表面分别覆盖有第一介质层、第二介质层,一发射极金属层覆盖于至少2个器件单胞的上表面,一集电极金属层覆盖于至少2个器件单胞的下表面。本实用新型沟槽栅IGBT器件在器件关断时,使电场曲线趋于平缓,有效避免了器件单胞相互干扰,发生寄生开通的情形,从而提高了沟槽栅IGBT器件的可靠性。
本实用新型沟槽栅IGBT器件在权利要求书中公布了:1.一种沟槽栅IGBT器件,其特征在于:包括至少2个位于硅片(1)上的器件单胞(15),所述器件单胞(15)进一步:位于硅片(1)上部的P阱区(2)和位于P阱区(2)下方的N型轻掺杂漂移层(3),一位于硅片(1)下部的P型重掺杂集电区(4)与N型轻掺杂漂移层(3)之间设置有一N型电场阻止层(5); 位于P阱区(2)内的第一沟槽(61)、第二沟槽(62)分别延伸至所述N型轻掺杂漂移层(3)内,所述第一沟槽(61)、第二沟槽(62)内分别具有第一导电多晶硅(71)、第二导电多晶硅(72),此第一导电多晶硅(71)、第二导电多晶硅(72)分别与第一沟槽(61)、第二沟槽(62)各自内壁之间分别具有第一氧化层(81)、第二氧化层(82); 位于第一沟槽(61)、第二沟槽(62)周边分别具有一第一N型重掺杂发射极区(91)、第二N型重掺杂发射极区(92),相邻所述器件单胞(15)之间的N型轻掺杂漂移层(3)内具有一深沟槽(14),此深沟槽(14)内填充有一绝缘介质柱(11),此绝缘介质柱(11)的上端延伸至硅片(1)上表面,所述绝缘介质柱(11)的下端延伸至N型轻掺杂漂移层(3)的下部; 所述器件单胞(15)中的第一导电多晶硅(71)、第二导电多晶硅(72)各自上表面分别覆盖有第一介质层(101)、第二介质层(102),一发射极金属层(12)覆盖于至少2个器件单胞(15)的上表面,一集电极金属层(13)覆盖于至少2个器件单胞(15)的下表面。
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