苏州芯汇晶成半导体科技有限公司陈爱军获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉苏州芯汇晶成半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆无损伤清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223218289U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422128503.9，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆无损伤清洗装置是由陈爱军;袁平;肖亚栋;魏卿设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆无损伤清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，尤其为一种晶圆无损伤清洗装置，包括药液喷涂装置、电动伸缩杆、操作座、电动机、清洗台和伺服电机，所述伺服电机的输出轴末端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧螺旋连接有螺套，所述螺套的外侧固定连接有第一连接块，所述第一连接块的上端面固定连接有同于夹持定位晶圆的夹持块，所述药液喷涂装置的外侧安装有控制器，本实用新型中，通过设置的夹持块、螺套和第一连接块等组成的结构，伺服电机的转轴会带动螺纹杆转动，螺纹杆转动会使得螺套与其发生螺旋，使得夹持块移动，从而通过夹持块对晶圆进行夹持定位，使得晶圆无损伤清洗装置在对晶圆进行清洗时可以对晶圆进行夹持定位。
本实用新型一种晶圆无损伤清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆无损伤清洗装置，包括药液喷涂装置1、电动伸缩杆2、操作座3、电动机4、清洗台5和伺服电机6，其特征在于：所述伺服电机6的输出轴末端固定连接有螺纹杆7，所述螺纹杆7的外侧转动连接有用于对其进行定位的第一定位块10，所述螺纹杆7的外侧螺旋连接有螺套8，所述螺套8的外侧固定连接有第一连接块9，所述第一连接块9的上端面固定连接有同于夹持定位晶圆的夹持块11，所述夹持块11的下端面固定连接有第二连接块13，所述第二连接块13的内侧滑动连接有导向杆14，所述导向杆14的两端固定连接有第二定位块15，所述电动伸缩杆2的一端固定连接有密封垫19，所述密封垫19的上端面固定连接有废液收集壳体16，所述废液收集壳体16的内侧开设有若干个大小相等的漏孔17，所述废液收集壳体16的上端面固定连接有防护套18，所述药液喷涂装置1的外侧安装有控制器20。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯汇晶成半导体科技有限公司，其通讯地址为：215600 江苏省苏州市张家港市张家港经济开发区福新路1202号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号