昆山协鑫光电材料有限公司李怀健获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山协鑫光电材料有限公司申请的专利薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223214170U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422062648.3，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型薄膜沉积设备是由李怀健;安扬;金贞;田清勇;范斌;戴忠和;武笑雨设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种薄膜沉积设备，其包括：沉积室，用于提供进行薄膜沉积的密闭环境，沉积室内集成有第一加热机构，沉积室内还集成有薄膜沉积激发装置，薄膜沉积激发装置用于将沉积室内的前驱物转化形成沉积层；第一传送装置，设置在沉积室内，用于在多个工位之间转移样品以及带动样品在选定工位处往复运动；抽真空机构，与沉积室连接，用于调节沉积室内的真空度；前驱物供应装置，与沉积室连接，并用于向沉积室内供应前驱物；副产物处理模块，副产物处理模块与沉积室连接，用于对沉积室内产生的副产物以及剩余的前驱物进行收集和或净化处理。本实用新型具有合理的副产物处理系统布局，能够有效延长设备维护周期和保护环境安全。
本实用新型薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括： 沉积室，用于提供进行薄膜沉积的密闭环境，所述沉积室内集成有第一加热机构，所述沉积室内还集成有薄膜沉积激发装置，所述薄膜沉积激发装置用于将所述沉积室内的前驱物转化形成沉积层； 第一传送装置，设置在所述沉积室内，并至少用于在多个工位之间转移样品以及带动所述样品在选定工位处往复运动； 抽真空机构，所述抽真空机构与所述沉积室连接，并至少用于调节所述沉积室内的真空度； 前驱物供应装置，与所述沉积室连接，并用于向所述沉积室内供应前驱物； 副产物处理模块，所述副产物处理模块与所述沉积室连接，并至少用于对所述沉积室内产生的副产物以及剩余的前驱物进行收集和或净化处理。
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