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瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司熊壮获国家专利权

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龙图腾网获悉瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司申请的专利一种碳化硅水平外延炉的顶盖及碳化硅水平外延炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223214210U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422056854.3,技术领域涉及:C30B23/00;该实用新型一种碳化硅水平外延炉的顶盖及碳化硅水平外延炉是由熊壮;孙永强;李凯希;张泽康;黄毅龙;冯淦;赵建辉设计研发完成,并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种碳化硅水平外延炉的顶盖及碳化硅水平外延炉在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种碳化硅水平外延炉的顶盖及碳化硅水平外延炉,包括座体和盖体,座体和盖体上下对应地可拆卸地连接在一起,进而使得座体可相对盖体进行分离拆卸更换。本实用新型的碳化硅水平外延炉的顶盖由座体和盖体上下对应地可拆卸地连接在一起形成,如此,使用过程中,当座体上产生碳化硅晶体附着时,可将顶盖拆卸,并单独更换新的座体结构,从而保留弧形拱顶部分的盖体继续使用,如此,有效降低了顶盖的更换维护成本。

本实用新型一种碳化硅水平外延炉的顶盖及碳化硅水平外延炉在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅水平外延炉的顶盖,其特征在于:包括座体1和盖体2,座体1和盖体2上下对应地可拆卸地连接在一起,进而使得座体1可相对盖体2进行分离拆卸更换; 座体1与盖体2的配合面之间设置有插接式可拆卸连接结构,以使座体1与盖体2可拆卸地连接在一起; 座体1与盖体2之间被配置为从水平方向进行横向抽拉拆卸; 在座体1上开设插接限位槽11,在盖体2上设置有与插接限位槽11适配的插接限位凸部21,由插接限位凸部21与插接限位槽11的插接限位配合使得座体1与盖体2可拆卸地连接在一起。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司,其通讯地址为:361115 福建省厦门市厦门火炬高新区同翔高新城市头东二路198-1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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