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厦门思坦半导体有限公司周敬冉获国家专利权

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龙图腾网获悉厦门思坦半导体有限公司申请的专利晶片承载结构、晶片研磨装置及晶片研磨设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223211146U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421931188.7,技术领域涉及:B24B37/27;该实用新型晶片承载结构、晶片研磨装置及晶片研磨设备是由周敬冉;吴胜吉设计研发完成,并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。

晶片承载结构、晶片研磨装置及晶片研磨设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种晶片承载结构、晶片研磨装置及晶片研磨设备,涉及半导体芯片生产设备技术领域。晶片承载结构包括载盘,所述载盘表面开设有多个凹槽,所述凹槽内设有晶片承载区域和外围区域,所述外围区域环设于所述晶片承载区域的外周缘,所述凹槽与所述载盘为一体式载盘。本申请提供的晶片承载结构通过设置凹槽承接溢出的蜡液,不用使用吸蜡纸。

本实用新型晶片承载结构、晶片研磨装置及晶片研磨设备在权利要求书中公布了:1.一种晶片承载结构,其特征在于,包括: 载盘,所述载盘表面开设有多个凹槽,所述凹槽内设有晶片承载区域和外围区域,所述外围区域环设于所述晶片承载区域的外周缘,所述凹槽与所述载盘为一体式载盘; 所述凹槽包括: 第一槽体,所述第一槽体自所述载盘的表面凹陷形成; 第二槽体,所述第二槽体自所述第一槽体的底部凹陷形成,并使所述第二槽体的槽底面积小于所述第一槽体的槽底面积,所述晶片承载区域设置于所述第二槽体,所述外围区域设置于所述第一槽体且围绕所述晶片承载区域。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人厦门思坦半导体有限公司,其通讯地址为:361000 福建省厦门市火炬高新区新科广场5号楼坂上社37-5号501单元-A;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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