江苏先导微电子科技有限公司张冲获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利一种传送系统及空间原子层沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223214173U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421691504.8，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种传送系统及空间原子层沉积设备是由张冲;樊俊设计研发完成，并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传送系统及空间原子层沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及空间原子层沉积技术领域，公开了一种传送系统及空间原子层沉积设备，其中传送系统包括驱动单元和载台，驱动单元的驱动端设置有齿轮，载台上设置有与齿轮啮合的齿条，载台用于在空间原子层沉积设备的反应腔室内运载待镀工件，驱动单元用于驱使载台运动，齿轮转动时，齿条作直线运动；采用本实用新型提供的传送系统对待镀工件进行传送，齿轮齿条的配合能提供较高的移动精度，使待镀工件的移动位置更为准确，保证了薄膜的均匀性，同时由于齿轮齿条相互啮合，具有更低的磨损率，减少磨损微粒污染反应环境的情况，从多方面提高了薄膜质量。
本实用新型一种传送系统及空间原子层沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种传送系统，应用于空间原子层沉积设备，其特征在于，所述传送系统包括：驱动单元、载台和支架； 所述驱动单元的驱动端设置有齿轮； 所述载台上设置有与所述齿轮啮合的齿条； 所述载台用于在所述空间原子层沉积设备的反应腔室内运载待镀工件； 所述驱动单元用于驱使所述载台运动，所述齿轮转动时，所述齿条作直线运动； 所述载台上转动设置有滑轮； 所述支架上设置有与所述滑轮相适配的导轨； 所述导轨的长度方向与所述载台的运动方向相同。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏先导微电子科技有限公司，其通讯地址为：221116 江苏省徐州市徐州高新技术产业开发区先导南路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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