泰科天润半导体科技(北京)有限公司施广彦获国家专利权
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龙图腾网获悉泰科天润半导体科技(北京)有限公司申请的专利一种低栅电荷的V型栅碳化硅VDMOS获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223219405U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421685753.6,技术领域涉及:H10D64/27;该实用新型一种低栅电荷的V型栅碳化硅VDMOS是由施广彦;张长沙;张瑜洁;李昀佶设计研发完成,并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低栅电荷的V型栅碳化硅VDMOS在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种低栅电荷的V型栅碳化硅VDMOS,包括:漂移层下侧面连接至碳化硅衬底上侧面,漂移层内设有均流层;P型源区下侧面连接至漂移层上侧面;P型阱区下侧面连接至所述漂移层上侧面;N型源区,所述N型源区下侧面连接至所述P型阱区;绝缘介质层,所述绝缘介质层为V字形,所述绝缘介质层分别连接所述P型阱区以及N型源区;所述绝缘介质层内设有V型沟槽;源极金属层,所述源极金属层分别连接所述P型源区以及N型源区;栅极金属层,所述栅极金属层设于所述V型沟槽内;以及,漏极金属层,所述漏极金属层连接至所述碳化硅衬底下侧面;采用了V型栅器件结构,栅极控制需要反型厚度少,栅电荷小,能有效提高器件的开关速度。
本实用新型一种低栅电荷的V型栅碳化硅VDMOS在权利要求书中公布了:1.一种低栅电荷的V型栅碳化硅VDMOS,其特征在于:包括: 碳化硅衬底, 漂移层,所述漂移层下侧面连接至所述碳化硅衬底上侧面,所述漂移层内设有均流层; P型源区,所述P型源区下侧面连接至所述漂移层上侧面; P型阱区,所述P型阱区下侧面连接至所述漂移层上侧面; N型源区,所述N型源区下侧面连接至所述P型阱区; 绝缘介质层,所述绝缘介质层为V字形,所述绝缘介质层分别连接所述P型阱区以及N型源区;所述绝缘介质层内设有V型沟槽; 源极金属层,所述源极金属层分别连接所述P型源区以及N型源区; 栅极金属层,所述栅极金属层设于所述V型沟槽内; 以及,漏极金属层,所述漏极金属层连接至所述碳化硅衬底下侧面。
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