厦门蚨祺自动化设备有限公司唐达新获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门蚨祺自动化设备有限公司申请的专利一种晶圆崩边检测机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223217352U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421348968.9，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型一种晶圆崩边检测机构是由唐达新;潘跃清设计研发完成，并于2024-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆崩边检测机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆崩边检测机构，其包括载台、第一检测相机、第二检测相机、第一光源、第二光源和第三光源，所述第一检测相机和第一光源位于载台的上方，所述第二检测相机和第二光源位于载台的下方，所述第三光源位于载台的侧边，所述第三光源的照射方向朝向载台设置。本实用新型通过第一检测相机和第一光源配合，第二检测相机和第二光源配合，可以检测晶圆边缘是否存在划痕及崩边缺口，通过在载台的侧边设置向其发光的第三光源，当晶圆放置在载台上时，通过第三光源照射晶圆的侧沿，可以凸显晶圆边缘不易被发现的裂纹，使其在第一检测相机或第二检测相机上能够清楚成像，进而保证晶圆外观检测的可靠性。
本实用新型一种晶圆崩边检测机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆崩边检测机构，其特征在于：包括载台、第一检测相机、第二检测相机、第一光源、第二光源和第三光源，所述第一检测相机和第一光源位于载台的上方，所述第二检测相机和第二光源位于载台的下方，所述第三光源位于载台的侧边，所述第三光源的照射方向朝向载台设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人厦门蚨祺自动化设备有限公司，其通讯地址为：361000 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区翔星路88号台湾科技企业育成中心北W1004C室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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