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龙图腾网获悉湖州东尼半导体科技有限公司申请的专利一种碳化硅衬底片清理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118237307B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410535773.3，技术领域涉及：B08B1/12；该发明授权一种碳化硅衬底片清理装置是由沈晓宇设计研发完成，并于2024-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅衬底片清理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体生产设备技术领域，尤其涉及一种碳化硅衬底片清理装置。一种碳化硅衬底片清理装置，包括刷毛组件，其安装在底板上，用于清理碳化硅衬底片；吹气组件，其用于对所述刷毛以及所述碳化硅衬底片吹气；驱动组件，其用于对所述挤压部进行挤压。本发明通过驱动组件对挤压部挤压，形变部发生形变，使出气部对刷毛吹气，进而使得刷毛快速摆动，提高刷毛对碳化硅衬底片的刷动频率，刷毛在碳化硅衬底片表面移动的过程中将残留在碳化硅衬底片的碎片残渣快速清理。

本发明授权一种碳化硅衬底片清理装置在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅衬底片清理装置，其特征在于：包括 刷毛组件（1），其安装在底板（2）上，用于清理碳化硅衬底片，其中，所述刷毛组件（1）包括多组间隔设在所述底板（2）上的刷毛部（101），所述刷毛部（101）包括环形阵列分布的直杆（10101）、设在所述直杆（10101）端部的刷毛（10102）； 吹气组件（3），其用于对所述刷毛（10102）以及所述碳化硅衬底片吹气，其中，所述吹气组件（3）包括设在所述直杆（10101）一侧的挤压部（301）、和所述挤压部（301）连通的形变部（302）、和所述形变部（302）连通的出气部（303），所述挤压部（301）挤压后，所述形变部（302）发生形变，使所述出气部（303）对所述刷毛（10102）吹气，进而使得所述刷毛（10102）快速摆动； 驱动组件（4），其用于对所述挤压部（301）进行挤压； 所述形变部（302）包括设在所述直杆（10101）内的腔体（30201）、设在所述腔体（30201）内的形变带（30202），所述形变带（30202）将所述腔体（30201）分隔为进气腔（30203）和出气腔（30204）； 所述出气部（303）包括多个间隔开设在所述直杆（10101）底部的第一通道（30301）和第二通道（30302），其中，所述第一通道（30301）和第二通道（30302）分别和所述出气腔（30204）连通，所述第一通道（30301）和第二通道（30302）的出气方向分别朝向所述刷毛（10102）； 所述第一通道（30301）的出气方向和所述刷毛（10102）长度方向的夹角为30°-50°； 所述第二通道（30302）的出气方向和所述刷毛（10102）长度方向的夹角为20°-30°。

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