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龙图腾网获悉中南大学申请的专利一种等离子体射频电源电弧检测及其抑制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116949412B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310977850.6，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种等离子体射频电源电弧检测及其抑制方法是由王辉;袁士林;粟梅;冯伟权设计研发完成，并于2023-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子体射频电源电弧检测及其抑制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种等离子体射频电源电弧检测及其抑制方法，首先通过采样电路模块获取射频电源的输出电压和输出电流，然后通过特定的判别准则区分微弧和硬弧，并采取相应的控制策略进行抑弧处理，最终实现对电弧的快速检测和有效抑制，提高薄膜沉积质量，避免工件表面产生不可逆的损伤，最后即可设计等离子体射频电源的最优微弧参数，通过调整微弧中断时间、电压阈值和电流阈值，并记录硬弧和软弧的频次，计算出最优的微弧中断时间及相关参数，以实现对微弧的最佳处理。通过使用本发明所提出的等离子体射频电源电弧检测及抑制技术，可以及时检测和抑制电弧的产生，保护工件表面，提高薄膜沉积质量，减少工件不良率。

本发明授权一种等离子体射频电源电弧检测及其抑制方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体射频电源电弧检测及其抑制方法，其特征在于：包括如下步骤： S1：通过电弧检测模块对等离子体射频电源进行电弧检测： S11：利用输出电压采样模块，获取射频电源的输出电压Uo； S12：利用输出电流采样模块，获取射频电源的输出电流Io； S13：将输出电压Uo与预设的电压阈值Uth作比较，同时将输出电流Io与预设的电流阈值Ith作比较，当Uo小于Uth且Io大于Ith时，判别为UXI弧，也即微弧，将输出电流Io与预设的电流阈值Ith1作比较，当Io大于Ith1时，判别为Imax弧，也即硬弧； S2：通过电弧抑制模块对等离子体射频电源电弧进行抑制： S21：当判别发生微弧时，控制射频电源的输出按预定微弧中断时间Tmicro关断，使得微弧熄灭； S22：当判别发生硬弧时，控制射频电源的输出按预定硬弧中断时间TImax关断，使得硬弧熄灭；经过TImax时间之后，再控制射频电源输出按照预定的斜率重启爬坡，恢复输出； S3：设计等离子体射频电源的最优微弧参数： S31：将与微弧相关的电压阈值Uth设到最小值，将电流阈值Ith设到最大值； S32：使能硬弧动作功能，关闭软弧动作功能； S33：记录此时射频电源硬弧和软弧发生的频次，即单位时间内硬弧和软弧发生的次数，分别记为RImax0和RUXI0； S34：同时使能硬弧和软弧动作功能，并将微弧中断时间Tmicro设到最小值； S35：记录此时射频电源硬弧和软弧发生的频次，即单位时间内硬弧和软弧发生的次数，分别记为RImax1和RUXI1； S36：逐次增加微弧中断时间，每次TmicroI（I=1，2，3，…）下均记录此时射频电源硬弧和软弧发生的频次，即单位时间内硬弧和软弧发生的次数，分别记为RImaxI和RUXII（I=1,2，3，…）； S37：逐次增大电压阈值Uth，降低电流阈值Ith，并重复步骤S2-步骤S6； S38：计算每种情况下的硬弧和软弧发生比率，计算公式为：R1Imax=RImax0RImaxI,R1UXI=RUXI0RUXII； S39：计算每种情况下射频电源的微弧中断时间，计算公式为：TI=TmicroI*R1UXI； S310：评估微弧的最优设置，根据最优位置得到最优微弧参数，最优微弧参数为使得硬弧发生比率最大并且微弧中断时间最短。

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