沈阳芯源微电子设备股份有限公司王超群获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种机械手的自动示教方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116619397B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310838686.0，技术领域涉及：B25J9/22；该发明授权一种机械手的自动示教方法、装置、设备及介质是由王超群;张建;曲征辉设计研发完成，并于2023-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种机械手的自动示教方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种机械手的自动示教方法、装置、设备及介质，针对非旋转处理装置，只需借助能够使晶圆产生滑动的导正装置，相对于现有的示教工具成本低，示教前只需根据导正装置的大致位置确定机械手的初始位置，通过机械手根据初始位置在导正装置上重复进行放取晶圆的操作，计算放取晶圆前后晶圆中心在机械手上变化的差值，根据差值对机械手的初始位置不断的进行调整，直到调整后的差值小于等于第一预设值时，认为机械手取放晶圆前后，晶圆中心的位置变化小，即晶圆中心和基准位置接近，从而使得晶圆中心与非旋转处理装置的导正装置基准位置的自动对准，实现了机械手的自动示教，不仅成本低，而且提高了示教的准确度和效率。
本发明授权一种机械手的自动示教方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种机械手的自动示教方法，其特征在于，包括： 在非旋转处理装置所在的平面上设置具有导正斜面的导正装置，所述非旋转处理装置和导正装置之间的位置关系是已知的，并根据所述导正装置的初始理论位置确定机械手的初始位置； 所述机械手根据所述初始位置向非旋转处理装置的导正装置上放置晶圆时，获取晶圆中心在机械手上的起始位置；以及在所述晶圆沿着所述导正装置滑动后，所述机械手根据所述初始位置从所述导正装置上取回所述晶圆时，获取晶圆中心在机械手上偏离所述起始位置的偏离位置； 计算所述起始位置和偏离位置的差值，并判断所述差值是否小于等于第一预设值；若否，则对所述机械手的初始位置进行调整，直到调整后的差值小于等于第一预设值时，将机械手调整后的位置作为所述导正装置基准位置的水平坐标，完成机械手在水平方向的自动示教。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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