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龙图腾网获悉华侨大学申请的专利一种明暗场和白光干涉的缺陷检测系统和检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117110290B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310732581.7，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种明暗场和白光干涉的缺陷检测系统和检测方法是由崔长彩;王明鑫;黄辉;黄国钦;徐西鹏设计研发完成，并于2023-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种明暗场和白光干涉的缺陷检测系统和检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种明暗场和白光干涉的缺陷检测系统和检测方法，该系统包括明暗场缺陷检测模块、白光干涉缺陷检测模块、传输模块和上位机模块。明暗场缺陷检测模块包括明场成像和暗场成像，通过逐点扫描实现图案化蓝宝石衬底的全局缺陷检出；根据明暗场缺陷检测模块的缺陷检出以及传输模块的缺陷定位，白光干涉缺陷检测模块实现缺陷的高精度定量检测。上位机模块包括传输模块的控制、图像采集控制以及图像数据处理模块，其图像数据处理模块包括明场图像和暗场图像的缺陷位置提取和白光干涉模块的缺陷三维形貌恢复；传输模块包括明暗场缺陷检测模块的逐点扫描检测提供位移和缺陷的定位。它不仅解决图案化蓝宝石衬底大范围缺陷检测而且能实现缺陷的三维形貌高精度测量。

本发明授权一种明暗场和白光干涉的缺陷检测系统和检测方法在权利要求书中公布了：1.一种明暗场和白光干涉检测的缺陷检测系统，其特征在于：包括明暗场缺陷检测模块、白光干涉缺陷检测模块、图像数据处理模块、传输模块和上位机模块； 所述明暗场缺陷检测模块和白光干涉缺陷检测模块包括镜筒、物镜转塔、明暗场显微物镜、干涉物镜、第一光源、第二光源和图像采集设备，图像采集设备设于镜筒正上方，镜筒内设分光镜和管状透镜，物镜转塔连接于镜筒正下方且设有两物镜接口，明暗场显微物镜和干涉物镜分别连接在物镜转塔的两物镜接口； 所述明暗场缺陷检测模块实现明场成像和暗场成像；明场成像应用第一光源、分光镜、明暗场显微物镜、物镜转塔和图像采集设备，第一光源发出的光束发出的光经过分光镜和明暗场显微物镜到达样品图案化蓝宝石衬底表面，经图案化蓝宝石衬底表面反射后依序经明暗场显微物镜和分光镜后到达图像采集设备；暗场成像应用第二光源、分光镜、明暗场显微物镜、物镜转塔和图像采集设备，第二光源发出的光束照射在图像采集设备的正下方的样品上，经由图案化蓝宝石衬底表面反射后依序入射至明暗场显微物镜和分光镜后到达图像采集设备； 所述白光干涉缺陷检测模块应用第一光源、分光镜、明暗场显微物镜、物镜转塔和图像采集设备，第一光源发出的光束依序入射至分光镜、干涉物镜到达图案化蓝宝石衬底表面，经由图案化蓝宝石衬底反射后依序到达干涉物镜和分光镜后到达图像采集设备； 所述明暗场缺陷检测模块和白光干涉缺陷检测模块通过物镜转塔转动实现明暗场检测模式和白光干涉检测模式的切换； 所述传输模块包括x轴位移台、设于x轴位移台的y轴位移台和设于y轴位移台的晶圆载物台，图案化蓝宝石衬底设置在晶圆载物台；该上位机模块在明暗场缺陷检测模块中通过图像数据处理模块识别图像采集设备采集的数据并获取缺陷位置，若待测图案化的衬底上存在多个缺陷，则先后逐一进行缺陷位置的标注，并计算标注的缺陷位置坐标，计算图像采集设备的位置坐标差值，并驱动传输装置对缺陷定位； 所述明暗场缺陷检测模块和白光干涉缺陷检测模块还包括丝杆螺母机构，丝杆螺母机构设能上下活动的运动平台，通过运动平台上下活动控制镜筒活动以实现明暗场和白光干涉检测的对焦；所述第一光源发出的光束垂直照射图案化蓝宝石衬底表面，第二光源发出的光束与图案化蓝宝石衬底表面呈一定角度斜入射至图案化衬底表面。

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