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龙图腾网获悉新疆大全新能源股份有限公司申请的专利一种用于多晶硅生产线的氯硅烷在线汽化检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116500166B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310519645.5，技术领域涉及：G01N30/02；该发明授权一种用于多晶硅生产线的氯硅烷在线汽化检测系统是由李鹏;牛刚;刘华鹏;刘飞;裴雅晨设计研发完成，并于2023-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于多晶硅生产线的氯硅烷在线汽化检测系统在说明书摘要公布了：本发明涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种用于多晶硅生产线的氯硅烷在线汽化检测系统，汽化器的流体入口与氯硅烷输送管路连通；限流节流孔板一设置在氯硅烷输送管路上；限流节流孔板二设置在汽化器的流体入口处；汽化器的流体出口上设置有泄压管路一；汽化器的流体出口上设置有取样管道；制样箱上的多个流体入口分别与多个进料汽化系统的取样管道分别连通；制样箱上具有检测出口和循环出口；流体入口与检测出口和循环出口之间设置有流向控制阀；控制装置与压力变送器、温度传感器、泄压调节阀、取样控制阀和流向控制阀分别连接。采用本发明提升检测效率和检测结果的准确性，降低对生产过程的影响。

本发明授权一种用于多晶硅生产线的氯硅烷在线汽化检测系统在权利要求书中公布了：1.一种用于多晶硅生产线的氯硅烷在线汽化检测系统，其特征在于，包括:进料汽化系统、氯硅烷储存容器、制样箱、气相色谱仪和控制装置； 所述进料汽化系统包括：氯硅烷输送管路、汽化器、限流节流孔板一和限流节流孔板二； 所述氯硅烷输送管路上设置有控制阀一； 所述氯硅烷输送管路上设置有控制阀二； 所述氯硅烷输送管路上设置有现场压力表； 所述汽化器的流体入口与所述氯硅烷输送管路连通；所述汽化器上设置有换热介质入口和换热介质出口； 所述限流节流孔板一设置在所述氯硅烷输送管路上，位于所述控制阀一和所述控制阀二之间； 所述限流节流孔板二设置在所述汽化器的流体入口处； 所述汽化器的流体出口上设置有泄压管路一；所述泄压管路一上设置有泄压调节阀；所述泄压管路一上设置有止回阀一； 所述汽化器上设置有温度传感器和压力变送器； 所述汽化器的流体出口上设置有取样管道； 所述进料汽化系统为多个； 所述制样箱上具有多个流体入口；多个所述流体入口分别与多个所述进料汽化系统的所述取样管道分别连通； 所述取样管道上设置有取样控制阀； 所述制样箱上具有检测出口； 所述气相色谱仪的进料口与所述检测出口连通；所述气相色谱仪的出料口上设置有检测后回路；所述检测后回路与所述泄压管路一连通； 所述制样箱上具有循环出口；所述循环出口与所述流体入口连通；所述循环出口上设置有循环管路；所述循环管路与所述泄压管路一连通； 所述流体入口与所述检测出口和所述循环出口之间设置有流向控制阀，用于控制所述流体入口与所述检测出口连通或与所述循环出口连通； 所述取样管道上设置有电伴热装置； 所述氯硅烷储存容器通过回液管线与所述氯硅烷输送管路连通；所述回液管线设置手动调节阀和止回阀二； 所述控制装置与所述压力变送器、所述温度传感器、所述泄压调节阀、所述取样控制阀和所述流向控制阀分别连接，用于采集温度和压力信号，并对所述泄压调节阀、所述取样控制阀和所述流向控制阀进行控制。

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