合肥工业大学王旭迪获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利采用飞秒激光在钨箔上打孔并与PDMS结合制备高压漏孔的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116571899B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310387691.4,技术领域涉及:B23K26/382;该发明授权采用飞秒激光在钨箔上打孔并与PDMS结合制备高压漏孔的方法是由王旭迪;王宗林;毕海林;曹青;吴俊;张俊;林文豫;林涵文设计研发完成,并于2023-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本采用飞秒激光在钨箔上打孔并与PDMS结合制备高压漏孔的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种采用飞秒激光在钨箔上打孔并与PDMS结合制备高压漏孔的方法,属于标准漏孔领域,首先利用飞秒激光对钨箔进行打孔,利用丙酮、醋酸和异丙醇去除钨箔表面的氧化物及其他污染物,获得表面清洁的钨箔;然后,将PDMS聚合物层贴到钨箔上即可得到PDMS和钨箔结合制作而成的高压漏孔。本发明制得的新型漏孔流导精确可控,本底漏率低,PDMS方便替换,并具有一定的承压能力,能在更大的压强范围内提供更精确的可控漏率。
本发明授权采用飞秒激光在钨箔上打孔并与PDMS结合制备高压漏孔的方法在权利要求书中公布了:1.一种采用飞秒激光在钨箔上打孔并与PDMS结合制备高压漏孔的方法,其特征是包括以下工艺步骤: 步骤1、对钨箔进行表面清理,先用丙酮对钨箔表面进行擦拭,再用干燥氮气对钨箔表面进行吹扫,获得表面清洁的钨箔;利用飞秒激光对钨箔进行打孔,使钨箔表面形成圆孔阵列结构; 步骤2、利用丙酮、醋酸和异丙醇去除钨箔表面的氧化物及其他污染物,获得表面清洁的打孔钨箔; 步骤3、将PDMS聚合物层贴合到打好阵列圆孔的钨箔上,再用热台100℃加热,最后用洁净的干燥氮气流进行吹扫得到PDMS和钨箔结合制作而成的新型耐高压漏孔。
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