通快许廷格两合公司C·霍夫施泰特尔获国家专利权
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龙图腾网获悉通快许廷格两合公司申请的专利一种等离子体系统及使用该系统的等离子体阵列系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223218257U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202390000294.0，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种等离子体系统及使用该系统的等离子体阵列系统是由C·霍夫施泰特尔设计研发完成，并于2023-04-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体系统及使用该系统的等离子体阵列系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种等离子体系统级使用该系统的等离子体阵列系统，其包括至少两个电源模块、匹配网络模块、等离子体处理室、数据处理和控制模块；电源模块用于生成第一电源信号；电源模块均与匹配网络模块电连接，并输送至少一个所述第一电源信号到适应网络模块中；电源模块均与等离子体处理室电连接，用于向等离子体处理室输出电能和或电信号；数据处理和控制模块与电源单元、匹配网络模块、等离子体处理室均电连接。通过本系统的实施，可以在数据的帮助下调整电源的参数，以使得溅射工艺的产品和工艺质量通过防止缺陷例如开裂的效果改善来提高最终产品和实施的质量。
本实用新型一种等离子体系统及使用该系统的等离子体阵列系统在权利要求书中公布了：1.一种等离子体系统，其特征在于：包括至少两个电源模块110、匹配网络模块120、等离子体处理室130、数据处理和控制模块145； 所述电源模块110用于生成第一电源信号123； 所述电源模块110均与所述匹配网络模块120电连接，并输送至少一个所述第一电源信号123到所述匹配网络模块120中； 所述电源模块110均与所述等离子体处理室130电连接，用于向等离子体处理室输出电能和或电信号； 所述数据处理和控制模块145与电源单元110、匹配网络模块 120、等离子体处理室130均电连接； 数据处理和控制模块145用于从电源单元110、匹配网络模块 120、等离子体处理室130的至少两个模块中以功率信号和或过程变量和或状态变量的参数形式采集与等离子体过程相关的数据，并对该数据进行分析处理，根据处理结果调整电源单元110、匹配网络模块120、等离子体处理室130至少两个的参数。
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