睿励科学仪器(上海)有限公司韩景珊获国家专利权
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龙图腾网获悉睿励科学仪器(上海)有限公司申请的专利光谱椭偏测量方法、系统及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116297227B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310325048.9，技术领域涉及：G01N21/21；该发明授权光谱椭偏测量方法、系统及存储介质是由韩景珊;王瑜;杨峰;吕彤欣设计研发完成，并于2023-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本光谱椭偏测量方法、系统及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种光谱椭偏测量方法、系统及存储介质。所述方法包括以下步骤：获取多组基于不同入射角度照射待测样品，并经由所述待测样品反射采集的实测光谱数据；将各组所述实测光谱数据代入预先建立的理论光谱模型，以分别确定基于各所述入射角度的实测椭偏函数值；改变所述理论光谱模型的膜层厚度参数，以分别获得对应各所述入射角度及多种候选膜层厚度的理论椭偏函数值；将关于各所述入射角度的理论椭偏函数值，分别与对应的实测椭偏函数值进行对比及误差分析，以确定光谱拟合误差；以及根据所述光谱拟合误差，确定所述待测样品表面的薄膜信息。
本发明授权光谱椭偏测量方法、系统及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种光谱椭偏测量方法，其特征在于，包括以下步骤： 获取多组基于不同入射角度照射待测样品，并经由所述待测样品反射采集的实测光谱数据； 根据各组所述实测光谱数据，确定关于各所述入射角度的实测椭偏参数； 将各组所述实测椭偏参数代入预先建立的理论光谱模型，以分别确定基于各所述入射角度的实测椭偏函数值，其中，所述理论光谱模型被表示为： 其中，、、、是光谱数据中的椭偏变量，和为各入射角序 号i的理论光谱模型中，理论椭偏函数值关于膜层厚度参数thickness的关系函数； 改变所述理论光谱模型的膜层厚度参数，以分别获得对应各所述入射角度及多种候选膜层厚度的理论椭偏函数值； 根据所述待测样品表面的薄膜材料，确定其对应的布儒斯特角，并据此确定对应各所述入射角度的光谱权重； 根据所述光谱权重，以及各所述入射角度的理论椭偏函数值及其对应的实测椭偏函数值，确定光谱拟合误差；以及 根据所述光谱拟合误差，确定所述待测样品表面的薄膜信息，其中，所述薄膜信息包括膜层厚度。
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