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龙图腾网获悉盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请的专利一种半导体设备用线圈夹紧装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116344314B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310312599.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种半导体设备用线圈夹紧装置是由赵云超;吴迪;李伟阳设计研发完成，并于2023-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体设备用线圈夹紧装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体设备用线圈夹紧装置，其属于半导体设备技术领域，半导体设备的底板上设置有圆柱件，圆柱件外设置有线圈，线圈环绕圆柱件后两端相交叉，其中一端固定连接有第一固定块，另一端固定连接有第二固定块，第一固定块和第二固定块分别与底板滑动连接；第一固定块和第二固定块相对的两侧面为不平行的平滑平面，在该两侧面之间贴合地设置有形状相匹配的夹紧块，夹紧块通过弹性复位机构与底板相连接。本发明可有效解决线圈夹紧问题，即使线圈的长度由于温度有所变化，也能通过弹簧弹力自动调节，使线圈始终紧贴圆柱件，保证传热效率和加热效果，有助于提高设备工作效率。

本发明授权一种半导体设备用线圈夹紧装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备用线圈夹紧装置，所述半导体设备的底板（1）上设置有圆柱件（2），所述圆柱件（2）外设置有线圈（3），其特征在于，所述线圈（3）环绕所述圆柱件（2）后两端相交叉，其中一端固定连接有第一固定块（4），另一端固定连接有第二固定块（5），所述第一固定块（4）和所述第二固定块（5）分别与所述底板（1）滑动连接；所述第一固定块（4）和所述第二固定块（5）相对的两侧面为不平行的平滑平面，在该两侧面之间贴合地设置有形状相匹配的夹紧块（6），所述夹紧块（6）通过弹性复位机构与所述底板（1）相连接； 所述弹性复位机构包括有固定座（7），所述固定座（7）位于所述夹紧块（6）背离所述圆柱件（2）的一侧，所述固定座（7）与所述底板（1）固定连接；所述固定座（7）上开设有连接通孔（8），所述连接通孔（8）中穿入有夹紧螺栓（9）；所述夹紧块（6）在背离所述圆柱件（2）的一侧开设有螺孔；所述夹紧螺栓（9）靠近所述圆柱件（2）的一端与所述夹紧块（6）的所述螺孔螺纹连接，所述夹紧螺栓（9）的另一端为螺栓头部（10），在所述螺栓头部（10）与所述固定座（7）之间设置有弹簧（11）。

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