买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线及其阵列获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116243429B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310309579.9，技术领域涉及：G02B6/35；该发明授权一种百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线及其阵列是由吴亚明;宋柯宇;陈栋;徐巧设计研发完成，并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线及其阵列在说明书摘要公布了：本发明提供一种百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线及其阵列，百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线由大行程MEMS垂直运动微镜与多反射光纤准直器进行光学准直耦合，通过运动放大杠杆结构的设置，使得大行程MEMS垂直运动微镜的离面运动行程能够达到毫米级、而垂直移动精度可达纳米级，从而突破了现有技术中MEMS垂直运动微镜仅仅只有数十微米行程的局限，并且降低了制备成本；此外，本发明大大提高了光纤延迟线的延迟量、并且使得光纤延迟线变得高精度快速调谐，并在一定程度上实现了光纤延迟线的阵列化，从而能够满足光学相控阵等高端光学系统的应用需求。

本发明授权一种百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线及其阵列在权利要求书中公布了：1.一种百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线，其特征在于，所述光纤延迟线至少包括： 下底座以及与所述下底座相对设置的上底座，所述下底座和所述上底座的两侧设有支柱槽且所述上底座的中心设置有光纤准直器孔； 支柱，所述支柱包括互相匹配的上支柱和下支柱，其中，所述下支柱位于所述下底座的支柱槽中，所述上支柱位于所述上底座的支柱槽中； 大行程MEMS垂直运动微镜，所述大行程MEMS垂直运动微镜与所述支柱固定连接，包括MEMS垂直运动微镜芯片以及驱动器封装，其中，所述MEMS垂直运动微镜芯片包括固定外框，位于所述固定外框内的垂直运动微镜以及分布于所述垂直运动微镜四周的第一弹性铰链、与所述垂直运动微镜连接的单轴扭转驱动器、连接所述单轴扭转驱动器和所述第一弹性铰链的运动放大杠杆结构，所述运动放大杠杆结构包括第一高刚性梁、第二弹性铰链以及带有扭转轴的第二高刚性梁，所述带有扭转轴的第二高刚性梁与所述固定外框连接，所述第一高刚性梁的一端与所述单轴扭转驱动器固定连接，另一端与所述第二弹性铰链连接，其中，所述第二高刚性梁包括臂长为L2的短臂和臂长为L3的长臂，所述第一高刚性梁的臂长为L1，且所述第一高刚性梁的臂长大于所述第二高刚性梁的短臂长，所述长臂的长度至少为所述短臂的长度的10倍，最终实现所述垂直运动微镜的扭转角度向垂直位移的转换以及行程的放大； 多反射光纤准直器，所述多反射光纤准直器包括固定套管、与所述固定套管连接的多光纤阵列以及位于所述固定套管底部的棒状平凸透镜，所述固定套管穿过光纤准直器孔固定以使得所述棒状平凸透镜的平面与所述多光纤阵列的端面耦合，所述棒状平凸透镜的凸面与所述垂直运动微镜准直耦合； 所述多光纤阵列至少包括输入光纤和输出光纤，使得光信号经所述输入光纤输入，被所述棒状平凸透镜准直扩束后入射进所述大行程MEMS垂直运动微镜，光信号在所述大行程MEMS垂直运动微镜的镜面上进行多次反射后与所述多反射光纤准直器进行多次光学耦合，然后从所述输出光纤输出，从而实现光信号的百皮秒级时间延迟量的连续调谐。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院上海微系统与信息技术研究所，其通讯地址为：200050 上海市长宁区长宁路865号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。