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西安交通大学潘毅获国家专利权

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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种超高真空样品台与集成式低温输运测量台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116359567B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310301684.8,技术领域涉及:G01R1/067;该发明授权一种超高真空样品台与集成式低温输运测量台是由潘毅;张又麒;冯尧设计研发完成,并于2023-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种超高真空样品台与集成式低温输运测量台在说明书摘要公布了:本发明公开了一种超高真空样品台与集成式低温输运测量台,包括适配真空旗形样品托传样的样品测量台、用于多端口电学测量的柔性微探针、防止超量驱动的进针凸轮机构;还包括用于一体集成的超高真空四通,密封连接有输出电信号的真空电连接机构、提供扭矩的探针驱动机构、真空外冷源和超高真空多维位移台输出端。本发明具有不遮挡样品核心区域、易对接超高真空系统并且适配多维位移的特点,可在真空原位实现探针与样品几乎无损、稳定的电连接,同时有效支持多场与多维度的协同调控。

本发明授权一种超高真空样品台与集成式低温输运测量台在权利要求书中公布了:1.一种超高真空样品台,其特征在于,包括样品测量台(6)和探针平台(606); 探针平台(606)设置在样品测量台(6)前端一侧的上方,样品测量台(6)前端另一侧设置有样品(8); 探针平台(606)底部采用多个带肩限位轴(609)穿过样品测量台(6),带肩限位轴(609)与样品测量台(6)滑动连接,带肩限位轴(609)的轴肩位于样品测量台(6)下方,轴肩与样品测量台(6)底部之间设置有弹性部件,弹性部件始终给予探针平台(606)与样品测量台(6)相互靠近的力; 样品测量台(6)位于探针平台(606)中心正下方的区域中空设置,样品测量台(6)中空部位的两个侧壁之间转动连通有转轴(603),转轴(603)上设置有凸轮机构,凸轮机构与探针平台(606)底部中心接触; 探针平台(606)设置有电路板(612),电路板(612)上设置有多根柔性微探针(613),柔性微探针(613)的针尖部位从探针平台(606)伸出,向下方样品(8)顶面延伸;当探针平台(606)位于最低点时,柔性微探针(613)的针尖部位与样品(8)顶部接触; 凸轮机构包括顶板(605),顶板(605)靠近侧面区域嵌套在转轴(603)上,且该侧面为弧面;探针平台(606)底部中心连接有圆轮(608),顶板(605)顶面与圆轮(608)周面底部接触; 探针平台(606)底部中心设置有凸块,凸块底部连接有圆轮轴(607),圆轮轴(607)上转动连接有圆轮(608),圆轮(608)周面底部与顶板(605)顶面接触。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安交通大学,其通讯地址为:710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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