世源科技工程有限公司王鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉世源科技工程有限公司申请的专利一种光刻机近端超纯水深度纯化装置及光刻机供水系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116375124B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310271849.1，技术领域涉及：C02F1/20；该发明授权一种光刻机近端超纯水深度纯化装置及光刻机供水系统是由王鹏;李刚设计研发完成，并于2023-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机近端超纯水深度纯化装置及光刻机供水系统在说明书摘要公布了：本发明涉及超纯水净化技术领域，公开一种光刻机近端超纯水深度纯化装置及光刻机供水系统，该光刻机近端超纯水深度纯化装置包括:供水管路、回流管路、脱气组件、错流式微型过滤器和光刻机进液管路，所述供水管路的出水口与所述第一脱气组件的进水口连通，所述第一脱气组件的出水口与所述错流式微型过滤器的进水口连通，所述错流式微型过滤器的回水口与所述回流管路的进水口连通，所述错流式微型过滤器的透过水口与所述光刻机进液管路连通，第二脱气组件在回流管路上并与所述错流式微型过滤器的回水口连通。一旦回水口流出的水发生意外反流或细菌、颗粒、有机物、溶解氧、气泡等逆向扩散，依然可以将其隔留，有效阻止其进入光刻机。
本发明授权一种光刻机近端超纯水深度纯化装置及光刻机供水系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻机近端超纯水深度纯化装置，其特征在于，包括:供水管路、回流管路、第一脱气组件、错流式微型过滤器和光刻机进液管路，所述供水管路的出水口与所述第一脱气组件的进水口连通，所述第一脱气组件的出水口与所述错流式微型过滤器的进水口连通，所述错流式微型过滤器的回水口与所述回流管路的进水口连通，所述错流式微型过滤器的透过水口与所述光刻机进液管路连通； 所述光刻机近端超纯水深度纯化装置还包括真空管路，所述真空管路与所述第一脱气组件的抽气口连通； 所述光刻机近端超纯水深度纯化装置还包括第二脱气组件，所述第二脱气组件连接于所述回流管路的进水口和所述错流式微型过滤器的回水口之间； 所述错流式微型过滤器的进水口和回水口之间未设置滤芯，所述错流式微型过滤器的透过水口与进水口至回水口之间的路径之间设置有滤芯； 光刻机近端超纯水深度纯化装置还包括减震装置，所述第一脱气组件、所述第二脱气组件和所述错流式微型过滤器设置于所述减震装置上。
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