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龙图腾网获悉长沙翼望半导体有限公司申请的专利一种用于探针台的气冷式温控系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116430919B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310229947.9，技术领域涉及：G05D23/20；该发明授权一种用于探针台的气冷式温控系统是由肖宇;肖霞设计研发完成，并于2023-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于探针台的气冷式温控系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于探针台的气冷式温控系统，包括：密闭腔室；卡盘结构，设置在密闭腔室内，卡盘结构包括气冷盘、加热盘和卡盘，卡盘内设置有检测卡盘温度的第一温度传感组件；控制器控制加热盘的温度；低温制冷器对气冷盘调节温度，低温制冷器还信号连接于控制器；低温制冷器包括循环气路，循环气路的进气口用于连通外部气源，排气口与气冷盘连通；进气口还连通有回热器组，回热器组连通有加热器，加热器连通排气口，排气口与加热器之间还设置有第二温度传感组件；低温制冷器还包括回流气路，回流气路的回气口与气冷盘连通，回气排出口连通密闭腔室，回气口和回气排出口之间设置有第三回热器和第三温度传感组件，第三温度传感组件靠近回气口。

本发明授权一种用于探针台的气冷式温控系统在权利要求书中公布了：1.一种用于探针台的气冷式温控系统，其特征在于，包括： 密闭腔室（1）； 卡盘结构，设置在密闭腔室（1）内，所述卡盘结构自下而上的包括气冷盘（21）、加热盘（22）和卡盘（23），所述卡盘（23）内设置有用于检测卡盘（23）温度的第一温度传感组件； 控制器（3），与所述加热盘（22）信号连接并控制加热盘（22）的温度； 低温制冷器（4），用于对气冷盘（21）进行温度调节，所述低温制冷器（4）还信号连接于控制器（3）； 所述低温制冷器（4）包括循环气路，所述循环气路包括进气口（411）和排气口（412），所述进气口（411）用于连通外部气源，所述排气口（412）与所述气冷盘（21）连通； 所述进气口（411）还连通有回热器组，所述回热器组连通有加热器（414），所述加热器（414）连通排气口（412），所述排气口（412）与加热器（414）之间还设置有第二温度传感组件（415）； 所述低温制冷器（4）还包括回流气路，所述回流气路包括回气口（421）和回气排出口（422），所述回气口（421）与所述气冷盘（21）连通，所述回气排出口（422）连通密闭腔室（1），所述回气口（421）和回气排出口（422）之间设置有第三回热器（423）和第三温度传感组件（424），所述第三温度传感组件（424）靠近回气口（421）； 所述控制器（3）与所述回热器组、加热器（414）、第二温度传感器、第三回热器（423）和第三温度传感器信号连接； 所述循环气路还包括空气干燥器（416），所述空气干燥器（416）连通有第一流量控制单元（417），所述第一流量控制单元（417）与所述回热器组连通； 在所述进气口（411）和空气干燥器（416）之间还连通有气压传感器（418）； 所述空气干燥器（416）、第一流量控制单元（417）和气压传感器（418）分别与所述控制器（3）信号连接； 所述回热器组与所述加热器（414）之间开设有循环气支路，所述循环气支路的下游连通于第三温度传感组件（424）和第三回热器（423）之间，所述循环气支路上设置有第二流量控制单元（431）； 所述回热器组包括一级回热器（4131）和二级回热器（4132），所述一级回热器（4131）和二级回热器（4132）连通，所述一级回热器（4131）与第一流量控制器（3）连通，所述二级回热器（4132）与加热器（414）连通； 所述低温制冷器（4）还包括一级热交换系统和二级热交换系统，所述一级热交换系统包括一级压缩机（441），所述一级压缩机（441）与二级回热器（4132）连通，二级回热器（4132）连通有冷凝蒸发器（442），所述冷凝蒸发器（442）连通有第一过滤器（443），所述第一过滤器（443）连通有冷凝器（444），所述冷凝器（444）与所述一级压缩机（441）连通； 所述二级热交换系统包括二级压缩机（451），所述二级压缩机（451）与所述一级回热器（4131）连通，所述一级回热器（4131）与所述冷凝蒸发器（442）连通，所述冷凝蒸发器（442）连通有第二过滤器（452），所述第二过滤器（452）与所述第三回热器（423）连通，所述第三回热器（423）与所述冷凝器（444）连通，所述冷凝器（444）连通于所述二级压缩机（451）；二级热交换系统与一级回热器（4131）进行热交换的同时还能通过第三回热器（423）与回流气路进行热交换。

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