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珠海迈时光电科技有限公司熊欣获国家专利权

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龙图腾网获悉珠海迈时光电科技有限公司申请的专利一种消除白光干涉仪在检测过程中累积欧拉角影响的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116465326B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310223777.3,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种消除白光干涉仪在检测过程中累积欧拉角影响的方法是由熊欣;张为国;詹永汉;邓晓洲;刘文明;杜春雷设计研发完成,并于2023-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种消除白光干涉仪在检测过程中累积欧拉角影响的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种消除白光干涉仪在检测过程中累积欧拉角影响的方法,涉及超精密加工检测技术领域。该方法包括:采集微结构样品3D表面的点云数据;分析点云数据的特征确定其3D面型;根据3D面型确定其立体结构模型,选用分析法计算点云数据与X,Y,Z三轴的偏转欧拉角;对偏转欧拉角取反,将点云数据空间旋转回与坐标面平行或对齐的数据。本发明结合白光干涉仪的自动聚焦功能,能够更精准地定位特征位置,采集到完整有效的点云数据;消除了每次采集过程中的误差影响;消除了硬件系统在长期运行过程中带来的微小变化,为长时间运行自动测量提供稳定可靠的测试结果;显著提高了自动测量检测数据的可靠性,降低了人工测量和校准的成本。

本发明授权一种消除白光干涉仪在检测过程中累积欧拉角影响的方法在权利要求书中公布了:1.一种消除白光干涉仪在检测过程中累积欧拉角影响的方法,其特征在于:包括如下步骤: 采集微结构样品3D表面的点云数据; 分析所述点云数据的特征,根据所述特征确定所述点云数据的3D面型; 根据所述3D面型确定其立体结构模型,选用分析法计算所述点云数据与X,Y,Z三轴的偏转欧拉角α、β、γ; 根据所述偏转欧拉角α、β、γ计算绕所述X,Y,Z三轴旋转的旋转矩阵,具体为: 将所述偏转欧拉角α、β、γ取负,求得所述旋转矩阵为: ; 将所述点云数据与所述旋转矩阵相乘,得到与所述X,Y,Z三轴平行或对齐的新点云数据。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人珠海迈时光电科技有限公司,其通讯地址为:519000 广东省珠海市香洲区珠海大道4333号7栋1层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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