中国工程物理研究院材料研究所梁传辉获国家专利权
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龙图腾网获悉中国工程物理研究院材料研究所申请的专利一种氮化钛薄膜抑氢扩散性能的检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116183444B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310146098.0，技术领域涉及：G01N13/00；该发明授权一种氮化钛薄膜抑氢扩散性能的检测方法是由梁传辉;尹安毅;郭莉;王东平;朱生发;颜家伟;赵晓冲;陈长安设计研发完成，并于2023-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮化钛薄膜抑氢扩散性能的检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种氮化钛薄膜抑氢扩散性能的检测方法，涉及氮化钛材料技术领域。本发明将氮化钛薄膜制备成三明治复合结构；所述三明治复合结构包括硅基底和依次层叠于所述硅基底上的金属钛薄膜和氮化钛薄膜；将所述三明治复合结构在氘气气氛中进行第一加热，氘气穿透所述三明治复合结构的氮化钛薄膜扩散进入金属钛薄膜，得到吸附氘气的复合结构；将所述吸附氘气的复合结构在真空条件下进行第二加热，将氘气完全脱附；通过检测氘气的脱附量得到氮化钛薄膜抑氢扩散性能。本发明提供的是基于温度驱动氘粒子输运的氮化钛薄膜抑氢扩散检测方法，不会破坏氮化钛薄膜，且能够真实、高灵敏度的反映氮化钛薄膜抑氢扩散性能。
本发明授权一种氮化钛薄膜抑氢扩散性能的检测方法在权利要求书中公布了：1.一种氮化钛薄膜抑氢扩散性能的检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 1将氮化钛薄膜制备成三明治复合结构；所述三明治复合结构包括硅基底和依次层叠于所述硅基底上的金属钛薄膜和氮化钛薄膜； 2将所述三明治复合结构在氘气气氛中进行第一加热，氘气穿透所述三明治复合结构的氮化钛薄膜扩散进入金属钛薄膜，得到吸附氘气的复合结构； 3将所述吸附氘气的复合结构在真空条件下进行第二加热，将所述吸附氘气的复合结构中的氘气完全脱附；通过检测氘气的脱附量得到氮化钛薄膜抑氢扩散性能。
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