应用材料以色列公司S·考特卡尔获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利基于关注区域的缺陷检测获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116631886B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310032591.X，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权基于关注区域的缺陷检测是由S·考特卡尔;S·劳特;S·K·伊赛提;N·M·S·钱丹设计研发完成，并于2023-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于关注区域的缺陷检测在说明书摘要公布了：提供了辅助半导体样品上的缺陷检测的系统和方法。所述方法包括：获得提供管芯上的要检查的多个关注区域CA的信息的第一图；创建包围多个CA的多个边界矩形BR；以及将多个BR压缩为压缩矩形集合以满足预定义的检查容量，同时尝试最小化由压缩矩形集合包围的非CA区域，从而产生提供压缩矩形集合的信息的第二图。所述压缩包括构造表示多个BR和压缩矩形的R树结构，并且基于预定义的检查容量从R树结构中选择节点集合，所述节点集合表示压缩矩形集合。所述第二图可用于过滤指示管芯上的缺陷候选分布的缺陷图。
本发明授权基于关注区域的缺陷检测在权利要求书中公布了：1.一种辅助半导体样品上的缺陷检测的计算机化系统，所述系统包括处理和存储器电路系统PMC，所述PMC被配置成： 获得提供所述半导体样品的管芯上的要检查的多个关注区域CA的信息的第一图； 创建包围所述多个CA的多个边界矩形BR；以及 将所述多个BR压缩为压缩矩形集合以满足预定义的检查容量，同时尝试最小化由所述压缩矩形集合包围的非CA区域，从而产生提供所述压缩矩形集合的信息的第二图，其中所述压缩包括： 构造包括底层和一个或多个上层的R树结构，所述底层包括表示所述多个BR的多个叶节点，所述一个或多个上层中的每一层包括一个或多个非叶节点，每个给定的非叶节点表示包围由所述给定非叶节点的一个或多个子节点表示的一个或多个矩形的压缩矩形；以及 基于所述预定义的检查容量从所述R树结构的所述叶节点和所述非叶节点中选择节点集合，所述节点集合表示所述压缩矩形集合； 其中，所述第二图可用于过滤指示所述管芯上的缺陷候选分布的缺陷图。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司，其通讯地址为：以色列瑞哈佛特市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号