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龙图腾网获悉清华大学申请的专利超滑类金刚石碳基涂层、复合涂层及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115976469B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211726435.5，技术领域涉及：C23C14/06；该发明授权超滑类金刚石碳基涂层、复合涂层及其制备方法是由马全胜;马天宝;付永强;崔文岩;王紫丹设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本超滑类金刚石碳基涂层、复合涂层及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种超滑类金刚石碳基涂层、复合涂层及其制备方法，所述类金刚石碳基涂层包括碳、氢和掺杂元素，所述掺杂元素包括弱碳化物形成金属元素、强碳化物形成金属元素和非金属元素；其中，所述类金刚石碳基涂层中，以碳和掺杂元素的原子总量计，碳的原子百分比含量为70％～90％，以掺杂元素的原子总量计，弱碳化物形成金属元素的原子百分比含量为50％～70％，以除弱碳化物形成金属元素外其余掺杂元素的原子总量计，强碳化物形成金属元素的原子百分比含量为50％～80％。涂层的制备方法包括：采用含有所述掺杂元素的靶材进行脉冲磁控溅射沉积。该涂层兼具低的摩擦系数和高的硬度，能在低温宽温域范围、潮湿大气下实现超滑。

本发明授权超滑类金刚石碳基涂层、复合涂层及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种复合涂层，其特征在于，包括： 基体结合层，布置在基体上； 硬质强化层，布置在所述基体结合层上； 梯度层，布置在所述硬质强化层上；以及 摩擦作用层，布置在所述梯度层上； 其中，所述硬质强化层材料为氮化物，所述梯度层材料为碳含量、氮含量呈梯度变化的碳氮化物，所述摩擦作用层为类金刚石碳基涂层； 所述类金刚石碳基涂层的组成元素包括碳、氢和掺杂元素，所述掺杂元素包括弱碳化物形成金属元素、强碳化物形成金属元素和非金属元素； 在所述类金刚石碳基涂层中，以碳和掺杂元素的原子总量计，碳的原子百分比含量为70％～90％，以掺杂元素的原子总量计，弱碳化物形成金属元素的原子百分比含量为大于50％且70％以下，以除弱碳化物形成金属元素外其余掺杂元素的原子总量计，强碳化物形成金属元素的原子百分比含量为50％～80％； 所述强碳化物形成金属元素选自Cr、Ti或W中的至少一种； 所述非金属元素选自Si； 所述弱碳化物形成金属元素选自以下情况中的任意一种：aAl；bAl和Ag的组合；cAl和Au的组合；dAl和Cu的组合；其中，b、c、d中Al元素的原子百分比含量为70％～90％； 所述类金刚石碳基涂层由互穿网络构成，所述互穿网络包括呈sp3形式连接的碳并被氢原子稳定的类金刚石的碳网络和呈sp2形式连接的碳； 所述类金刚石碳基涂层的制备方法包括：采用含有所述掺杂元素的靶材进行脉冲磁控溅射沉积，溅射沉积参数为：脉冲电压500V～900V，脉冲长度50μs～200μs，脉冲频率50Hz～200Hz； 所述基体结合层的材料为Cr、Ti、A1CrSi或A1TiSi中的任意一种； 所述硬质强化层的材料为Cr、Ti、A1CrSi或A1TiSi中的任意一种的氮化物； 自靠近所述硬质强化层端至靠近所述摩擦作用层端，所述梯度层材料的氮含量梯度降至零，碳含量梯度增至与所述摩擦作用层中的碳含量相同， 所述摩擦作用层厚度为500nm～2000nm， 所述复合涂层在20℃，相对湿度0.5％条件下，摩擦系数不大于0.01；在20℃，相对湿度52％条件下，摩擦系数不大于0.01；在-80℃氮气条件下，摩擦系数不大于0.01， 所述复合涂层的纳米硬度不小于9GPa且不大于10.5GPa。

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