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龙图腾网获悉深圳光迪科技有限公司申请的专利一种曝光参数快速整定方法、系统及数字曝光机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115793408B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211516147.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种曝光参数快速整定方法、系统及数字曝光机是由周朝阳设计研发完成，并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种曝光参数快速整定方法、系统及数字曝光机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种曝光参数快速整定方法、系统及数字曝光机，方法包括：控制数字曝光机的曝光头投射图案处于静态全投射状态；以给定的初始曝光头光功率、初始曝光静态扫描速度对曝光头投射图案进行曝光尺标定曝光；根据曝光尺的标定曝光结果调节曝光静态扫描速度以获取满足曝光尺标定要求的曝光头光功率、曝光静态扫描速度；根据曝光头光功率、曝光静态扫描速度，计算动态曝光下曝光头光功率对应的曝光持续时间以及曝光静态扫描速度，以及计算曝光头动态曝光下曝光静态扫描速度对应的曝光持续时间以及曝光头光功率。本方案通过获取静态全投射状态下满足曝光尺标定要求的曝光头光功率、曝光静态扫描速度，可以在感光膜曝光能量或曝光机激光器功率存在偏差的情况下使曝光头光功率、曝光持续时间、最大扫描速度得到快速准确整定。

本发明授权一种曝光参数快速整定方法、系统及数字曝光机在权利要求书中公布了：1.一种曝光参数快速整定方法，其特征在于，包括以下步骤： 控制数字曝光机的曝光头投射图案处于静态全投射状态； 曝光头以给定的初始曝光头光功率P1、初始曝光静态扫描速度V1对所述曝光头投射图案进行曝光尺标定曝光； 根据所述曝光尺的标定曝光结果调节曝光静态扫描速度以获取满足曝光尺标定要求的曝光头光功率P1、曝光静态扫描速度V11； 根据所述曝光头光功率P1、曝光静态扫描速度V11，计算动态曝光下曝光头光功率P2对应的动态扫描曝光持续时间T2和最大扫描速度V2，以及计算曝光头动态曝光下最大扫描速度V2对应的曝光持续时间T2和曝光头光功率P2，从而获取整定的动态曝光参数； 所述根据所述曝光头光功率P1、曝光静态扫描速度V11，计算动态曝光下曝光头光功率P2对应的动态扫描曝光持续时间T2和最大扫描速度V2，以及计算曝光头动态曝光下最大扫描速度V2对应的曝光持续时间T2和曝光头光功率P2，采用以下公式： T2=（P1×H）（P2×V11×N）； V2=Ds（T2+Tf）； 其中，H为所述曝光头投射图案的高度，N为曝光材料在动态扫描模式下单位面积的重复曝光次数，Ds为曝光间隔距离，Tf为曝光图案单元的刷新死时间，所述曝光图案单元为数字微镜阵列的微反射镜。

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