聊城大学马海俐获国家专利权
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龙图腾网获悉聊城大学申请的专利一种波导微腔马赫-曾德干涉型折射率传感器的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115901684B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211473560.X，技术领域涉及：G01N21/41；该发明授权一种波导微腔马赫-曾德干涉型折射率传感器的制备方法是由马海俐;徐堃;玄成聪;姚一村;王明红;白成林设计研发完成，并于2022-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种波导微腔马赫-曾德干涉型折射率传感器的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种波导微腔马赫‑曾德干涉型折射率传感器的制备方法，步骤如下：采用飞秒激光刻写技术，在透明基底材料中刻写波导和微腔，所述波导由直线型波导与分支直线波导构成；所述微腔横截面覆盖分支直线波导模场；所述直线型波导需保持结构完整，与微腔无空间交叠。相对于传统微腔马赫‑曾德传感器，具有更高的灵敏度，其制备也更为简单，所制备的器件具有更好的机械强度及工艺容差。
本发明授权一种波导微腔马赫-曾德干涉型折射率传感器的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种波导微腔马赫-曾德干涉型折射率传感器的制备方法，其特征在于：步骤如下：采用飞秒激光刻写技术，在透明基底材料中刻写波导和微腔，所述波导由直线型波导与分支直线波导构成；所述微腔横截面覆盖分支直线波导模场；所述直线型波导需保持结构完整，与微腔无空间交叠； 所述分支直线波导由前端桥接波导、分支直线波导、后端桥接波导三部分构成，其中分支直线波导的走向平行于直线型波导，前端桥接波导与后端桥接波导用于连接直线型波导和分支直线波导； 所述分支直线波导的两端桥连区为S型弯曲波导结构或直线形波导结构。
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