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龙图腾网获悉浙江科技学院申请的专利一种利用改进Golomb等长编码算法的高效多台阶光刻方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115793402B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211361619.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种利用改进Golomb等长编码算法的高效多台阶光刻方法是由黄喆;王辉;周尚营;王恒岩设计研发完成，并于2022-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种利用改进Golomb等长编码算法的高效多台阶光刻方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种利用改进Golomb等长编码算法的高效多台阶光刻方法，包括以下步骤：步骤1、根据光刻实验条件的最小曝光强度和可输出的最大曝光强度获取光刻实验条件m值；步骤2、根据m值对代表台阶深度的灰度图灰度值进行Golomb相除转码，得到第一段等长编码；步骤3、将m值和灰度图灰度值利用Golomb压缩编码规则计算，得到第二段等长编码；步骤4、将第一段编码和第二段编码进行拼接，得到Golomb编码；步骤5、把Golomb编码进行二进制横向切图，得到比特平面二值图；步骤6、对包含第一段编码的二值图用m倍曝光强度依次曝光，对包含第二段编码的二值图使用邻近二倍增大的曝光强度进行曝光。本发明可以减少曝光次数得到更多台阶数，提高了工作效率。

本发明授权一种利用改进Golomb等长编码算法的高效多台阶光刻方法在权利要求书中公布了：1.一种利用改进Golomb等长编码算法的高效多台阶光刻方法，其特征在于：包括以下步骤： 步骤1、根据光刻实验条件最浅台阶所需的最小曝光强度和光刻机可输出的最大曝光强度获取当前光刻实验条件下可输出的有效最大曝光强度的倍数，该倍数以m值表示； 步骤2、根据m值对代表台阶深度的灰度图各像素灰度值进行Golomb相除转码，得到第一段等长编码； 步骤3、将m值和灰度图灰度值经过步骤2所得余数利用改进Golomb压缩编码规则计算，得到第二段等长编码； 步骤4、根据灰度图灰度值将对应位置上的第一段编码和第二段编码进行拼接，得到一组和灰度图灰度值对应的Golomb编码； 步骤5、把步骤4得到的Golomb编码进行二进制横向比特平面切图，得对应二进制位次的二值图； 步骤6、对含第一段编码的比特平面二值图用相等的m倍曝光强度依次曝光，对含第二段编码的比特平面二值图使用邻近2的几何级数倍率逐级增大的曝光强度进行曝光； 所述改进Golomb压缩编码规则的公式如下： c＝m-2k； r＝fx，ymodm； 式中：表示取小于等于计算数值的最大整数；k为第二段编码截取参数；c表示截取调节参数；fx，ymodm表示fx，y被m除的余数，fx，y代表台阶深度的灰度图x,y位置灰度值，r为第二段编码二进制数值； r′＝转为k+1位二进制r； 式中的r′即为第二段等长编码。

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