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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115888342B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211290421.3，技术领域涉及：B01D53/32；该发明授权基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置及方法是由孙昊;荣命哲;吴翊;郭运顺;龙虎设计研发完成，并于2022-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置及方法，基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置中，利用高压直流电源击穿载气产生温等离子体，使含氟气体进行电离分解，并与活性气体反应抑制含氟气体的复合反应。该装置包括气体控制输入系统，控制载气、含氟气体、活性气体的输入流量；温等离子体发生器，产生直流电弧，得到的温等离子体喷流经过拉瓦尔喷口后快速冷却；尾气处理系统，产生的酸性气体产物被吸附剂吸收，并由缓冲罐连接尾气出口和循环泵，对含氟气体进行循环多次降解，待尾气检验合格后排放。

本发明授权基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置，其特征在于，其包括： 气体控制输入系统，其包括： 含氟气体输入线路，其包括依次连接的含氟气体气源、气阀和质量流量计以提供含氟气体流量； 活性气体输入线路，其包括依次连接的活性气体气源、气阀和质量流量计以提供活性气体流量； 惰性气体输入线路，其包括依次连接的惰性气体气源、气阀和质量流量计以提供惰性气体流量； 温等离子体发生器，其包括： 绝缘基座； 阳极，其穿设于所述绝缘基座中，所述阳极设有反应气体入口，来自含氟气体输入线路的含氟气体和来自活性气体输入线路的活性气体混合后导入所述反应气体入口； 阴极，其固定连接所述绝缘基座且环绕所述阳极，所述阴极设有惰性气体入口，来自惰性气体输入线路的惰性气体导入所述惰性气体入口； 陶瓷管，其穿设于所述阴极且朝向所述阳极，所述陶瓷管、阴极和阳极构成生成温等离子体的反应空间，陶瓷管设有拉瓦尔喷口； 无害化处理系统，其包括： 酸性气体吸附剂，其设于所述陶瓷管尾部内以吸收反应产生的酸性气体； 缓冲罐，其连接所述陶瓷管，所述缓冲罐设有排放降解尾气的尾气出口； 循环泵，其一端连接所述缓冲罐，另一端连接反应气体入口，以重新充入阳极进行反应。

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