苏州创视智能技术有限公司刘钧获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州创视智能技术有限公司申请的专利一种光谱共焦位移传感器自动化多功能标定装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115597496B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211221620.9,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种光谱共焦位移传感器自动化多功能标定装置及方法是由刘钧;张文浩;陈旺;戴霖;杨竞设计研发完成,并于2022-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光谱共焦位移传感器自动化多功能标定装置及方法在说明书摘要公布了:本发明是一种光谱共焦位移传感器自动化多功能标定装置及方法,包括激光干涉仪,激光干涉仪的发射光路上设有激光反馈模块;激光反馈模块设置在第一电动运动台上,第一电动运动台上设有线性标定反射镜,并且第一电动运动台控制线性标定反射镜与激光反馈模块同步移动;第一电动运动台的一侧设有与其相垂直的第二电动运动台,第二电动运动台上移动控制有探头水平角度调节台;光谱共焦探头设置在探头水平角度调节台或探头固定台上。本发明在同一个标定系统中实现了光谱共焦探头的线性误差、极限测量角度、光斑尺寸参数的标定,探头位姿的变换都通过电动控制实现,提高了探头标定的自动化程度和标定工作效率。
本发明授权一种光谱共焦位移传感器自动化多功能标定装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种光谱共焦位移传感器自动化多功能标定装置,其特征在于,包括: 激光干涉仪(1),所述激光干涉仪(1)的发射光路上设有激光反馈模块(2),使得激光干涉仪(1)发出的激光由激光反馈模块(2)返回,用于测量激光反馈模块(2)的位置; 所述激光反馈模块(2)设置在第一电动运动台(3)上且由第一电动运动台(3)控制移动,所述第一电动运动台(3)上设有线性标定反射镜(8),并且所述第一电动运动台(3)控制线性标定反射镜(8)与激光反馈模块(2)同步移动,使得激光反馈模块(2)与线性标定反射镜(8)的位置相对固定; 所述线性标定反射镜(8)反射光谱共焦探头(10)发出的白光,用于表征光谱共焦探头(10)位移测量值,实现与激光干涉仪(1)位移测量值的对比; 所述第一电动运动台(3)的一侧设有与其相垂直的第二电动运动台(4),所述第二电动运动台(4)上移动控制有探头水平角度调节台(5); 所述光谱共焦探头(10): 设置在探头水平角度调节台(5)上且由探头水平角度调节台(5)控制转动,用于极限角度测量和光斑尺寸测量; 或者设置在探头固定台(9)上,用于线性标定; 所述探头水平角度调节台(5)的外侧设有极限角度标定台(6),用于极限角度测量时,由探头水平角度调节台(5)调整光谱共焦探头(10)的出光口对准极限角度标定台(6),所述探头水平角度调节台(5)的内侧设有标定棋盘格(7),并且所述标定棋盘格(7)由第一电动运动台(3)控制其沿着与第二电动运动台(4)相垂直的方向移动,用于在极限角度测量完成后,探头水平角度调节台(5)控制光谱共焦探头(10)转动180度,使其出光口对准标定棋盘格(7),使得标定棋盘格(7)能够返回光谱共焦探头(10)的测量光束(13),进行光斑尺寸测量; 所述探头固定台(9)设置在第一电动运动台(3)的外端,使得所述激光干涉仪(1)、激光反馈模块(2)、线性标定反射镜(8)、光谱共焦探头(10)位于同一直线上,且激光干涉仪(1)的测量光束与光谱共焦探头(10)的测量光束(13)共线,用于线性标定。
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