北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)赵东雷获国家专利权
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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利扭矩的标定方法及半导体设备物料存储单元获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115683450B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211182681.9，技术领域涉及：G01L25/00；该发明授权扭矩的标定方法及半导体设备物料存储单元是由赵东雷;关宏武;王浩楠;林继柱;刘颖设计研发完成，并于2022-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本扭矩的标定方法及半导体设备物料存储单元在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体领域，涉及一种扭矩的标定方法及半导体设备物料存储单元。扭矩的标定方法包括：计算翻转组件的最大扭矩：TN＝P·L，其中，P为翻转组件的重力，L为P作用在翻转组件的重心处距从动轮的回转中心的最大力臂长度，并记为标定位置；确定工作扭矩：T，其中，T≥n·TN，n为大于1的安全系数；标定翻转组件的扭矩：逐步锁紧从动轮，当翻转组件处于标定位置且从动轮不脱离时，记录施加的压力值：F＝Fi，翻转组件的扭矩Ti＝Fb+P·L，其中，i为标定次数，Fb为作用在翻转组件的重心处，在重力方向的力。解决现有的垂向开合装置没有防夹功能或基于传感器的防夹功能，容易损伤精密机械和物料且存在误检的问题。
本发明授权扭矩的标定方法及半导体设备物料存储单元在权利要求书中公布了：1.一种扭矩的标定方法，其特征在于，用于标定开合装置的扭矩， 所述开合装置包括主动轮、从动轮、从动轴、翻转组件以及锁紧机构， 所述主动轮能够带动所述从动轮旋转，所述从动轴贯穿所述从动轮，并连接所述翻转组件，所述从动轴能够驱动所述翻转组件运动，以打开或关闭外部机构的开口，所述锁紧机构能够对所述从动轮施加轴向的压力，以锁紧所述从动轮， 所述扭矩的标定方法包括： 计算所述翻转组件的最大扭矩：TN＝P·L，其中，P为所述翻转组件的重力，L为P作用在所述翻转组件的重心处距所述从动轮的回转中心的最大力臂长度，并记为标定位置； 确定工作扭矩：T，其中，T≥n·TN，n为大于1的安全系数； 标定所述翻转组件的扭矩：逐步锁紧所述从动轮，当翻转组件处于标定位置且所述从动轮不脱离时，记录施加的压力值：F＝Fi， 所述翻转组件的扭矩Ti＝Fb+P·L，其中，i为标定次数，Fb为作用在所述翻转组件的重心处，且在重力方向的力。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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