株式会社斯库林集团高桥朋宏获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115841965B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211150585.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理装置是由高桥朋宏;内田博章;岸田拓也;杉冈真治设计研发完成，并于2022-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置。在作为第1循环配管35的一部分的浓缩用配管39，设有具有石英管47的石英加热器41。第1迂回配管36的两端36A、36B连接在浓缩用配管39的上游端及下游端。在第1迂回配管36，设有具有非石英管51的非石英加热器45。控制部93在将第1槽T1内的磷酸溶液浓缩时，一边将磷酸溶液输送到浓缩用配管39，一边使用石英加热器41将通过浓缩用配管39的磷酸溶液加热。控制部93在第1槽T1内的磷酸溶液的浓缩完成时，一边将磷酸溶液输送到第1迂回配管36，一边使用非石英加热器45将通过第1迂回配管36的磷酸溶液加热。
本发明授权衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，其特征在于具备： 处理部，具有贮存磷酸溶液以浸渍衬底的处理槽； 槽，贮存所述磷酸溶液； 供给流路，用来将所述槽内的所述磷酸溶液输送到所述处理部； 循环流路，两端连接在所述槽，用来使从所述槽内流入的所述磷酸溶液返回到所述槽； 泵，设置在所述循环流路； 石英加热器，设置在作为所述循环流路的一部分的浓缩用流路，具有由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的石英管； 迂回流路，两端连接在所述浓缩用流路的上游端及下游端； 非石英加热器，设置在所述迂回流路，具有并非由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的非石英管；以及 控制部；且 所述控制部在将所述槽内的所述磷酸溶液浓缩时，一边对所述浓缩用流路输送所述磷酸溶液，一边使用所述石英加热器将通过所述浓缩用流路的所述磷酸溶液加热； 所述控制部在所述槽内的所述磷酸溶液的浓缩完成时，一边将所述磷酸溶液输送到所述迂回流路，一边使用所述非石英加热器将通过所述迂回流路的所述磷酸溶液加热，由此维持所述槽内的所述磷酸溶液的温度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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