江西安芯美科技有限公司陆金发获国家专利权
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龙图腾网获悉江西安芯美科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆点胶装置及其点胶方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116213191B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211092407.2,技术领域涉及:B05C5/02;该发明授权一种半导体晶圆点胶装置及其点胶方法是由陆金发设计研发完成,并于2022-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆点胶装置及其点胶方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体晶圆点胶装置,包括注射筒和针管,针管可拆卸地设置在注射筒上,还包括:传送机构;若干个晶圆固定装置,放置在传送机构上;导向装置,设置在传送机构上用于对晶圆固定装置导向;测高装置,其包括两侧开口的箱体和接触板,接触板可滑动地设置在箱体上,接触板呈折弯形,其底部至少一般端面为斜面,接触板与晶圆接触面上设置有防护垫;驱动装置,设置在箱体上用于驱动注射筒上下运动;第一传感器,设置在箱体上用于感应晶圆固定装置;两个第二传感器,各设置在箱体和接触板上用于感应注射筒;检测装置,用于检测针管是否堵塞;时间继电器;控制器。本发明中,能对不同大小的晶圆进行点胶,同时能对晶圆是否点胶自动检测,无需人为检测,效率高。
本发明授权一种半导体晶圆点胶装置及其点胶方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆点胶装置,包括注射筒(10)和针管(2),所述针管(2)可拆卸地设置在所述注射筒(10)上,所述注射筒(10)上设置有拧盖(101),所述拧盖(101)上设置有进气管(102),所述进气管(102)上设置有电磁阀,其特征在于,还包括: 传送机构(3); 若干个晶圆固定装置(4),放置在所述传送机构(3)上; 导向装置(5),设置在所述传送机构(3)上用于对所述晶圆固定装置(4)导向; 测高装置,其包括两侧开口的箱体(6)和接触板(7),所述接触板(7)可滑动地设置在所述箱体(6)上,所述接触板(7)呈折弯形,其底部一端面为斜面,所述接触板(7)与晶圆接触面上设置有防护垫; 驱动装置(8),设置在所述箱体(6)上用于驱动所述注射筒(10)上下运动; 第一传感器(9),设置在所述箱体(6)上用于感应所述晶圆固定装置(4); 两个第二传感器(11),各设置在所述箱体(6)和接触板(7)上用于感应所述注射筒(10); 检测装置,用于检测所述针管(2)是否堵塞,所述检测装置包括第二气动驱动装置(14)、发光件(15)、第三传感器(16)、两个导电件(17)和收集容器(18),所述第三传感器(16)用于感应所述发光件(15)发光,两个所述导电件(17)彼此间隔设置在所述收集容器(18)的开口处,所述第二气动驱动装置(14)用于驱动所述收集容器(18)来回移动; 时间继电器(12); 控制器(13)。
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