苏州迅镭激光科技有限公司李勋武获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州迅镭激光科技有限公司申请的专利热透镜效应检测方法和检测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115615925B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211052920.9,技术领域涉及:G01N21/17;该发明授权热透镜效应检测方法和检测装置是由李勋武;颜章健设计研发完成,并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本热透镜效应检测方法和检测装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种热透镜效应检测方法和检测装置。包括:利用迈克尔逊干涉方法设置检验光路,使检验光路经过检测待测窗口片后形成等倾干涉的圆环形条纹,使测试光路穿过待测窗口片,且测试光路与待测窗口片垂直,通过计算等倾干涉的圆环形条纹的变化量确定待测窗口片的改变量。本申请的方法由于采用的是干涉方法,即使待测窗口片的待测表面有微小的波长级的变化,也会引起整个等倾干涉的圆环形条纹的极大改变。因此,可实现高精度的测量。
本发明授权热透镜效应检测方法和检测装置在权利要求书中公布了:1.一种热透镜效应检测方法,其特征在于,包括: 利用迈克尔逊干涉方法设置检验光路,使检验光路经过检测待测窗口片后形成等倾干涉的圆环形条纹, 使测试光路穿过待测窗口片,且测试光路与待测窗口片垂直, 通过计算等倾干涉的圆环形条纹的变化量确定待测窗口片的改变量, 所述检验光路通过以下元器件形成: 在第一设置方向上依次设置有检验用激光光源、光源孔阑、第一聚光镜、高精度平行平板和第一平面反射镜,所述第一聚光镜与第一设置方向垂直,所述高精度平行平板与第一设置方向呈45度夹角,所述第一平面反射镜与第一设置方向垂直, 在第二设置方向上依次设置有第二平面反射镜、第二聚光镜以及测量屏, 所述第一设置方向与第二设置方向相互垂直相交,且所述高精度平行平板也位于第二设置方向上,且所述高精度平行平板位于第二聚光镜和测量屏之间, 所述待测窗口片设置在第一设置方向上,且待测窗口片与高精度平行平板平行设置,所述待测窗口片位于第一平面反射镜和高精度平行平板之间, 所述测试光路通过以下元器件形成:在第三设置方向上依次设置有测试用激光光源、准直镜组、聚焦镜组和激光吸收池,所述准直镜组与第三设置方向垂直,所述聚焦镜组与第三设置方向垂直, 所述第三设置方向与第一设置方向的夹角为45度,所述待测窗口片也位于第三设置方向上并与第三设置方向垂直,且待测窗口片位于准直镜组和聚焦镜组之间。
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